特許
J-GLOBAL ID：201703015896673233
摺動部材およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (4件)：
平木 祐輔
, 関谷 三男
, 石川 滝治
, 美馬 保彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-148058
公開番号（公開出願番号）：特開2017-025396
出願日： 2015年07月27日
公開日（公表日）： 2017年02月02日
要約：
【課題】潤滑油が存在する高荷重条件下でも、摺動部材の摺動面に形成された非晶質炭素皮膜の摩耗量と摩擦係数を低減することができる摺動部材の製造方法の提供。【解決手段】フィルタードアークデポジション法により基材11の表面に窒素を含有した非晶質炭素皮膜(CNx)12を蒸着させる摺動部材10の製造方法において、窒素を含有した非晶質炭素皮膜12の窒素含有量が2〜11原子%となるように、基材11の表面に向けてマイクロ波イオン源41を用いて窒素イオンビームB2を照射しながら窒素を含有した非晶質炭素皮膜12を形成し、非晶質炭素皮膜12の表面硬度が25〜80GPaである摺動部材10の製造方法。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基材の表面に窒素を含有した非晶質炭素皮膜が形成され、該非晶質炭素皮膜の表面を摺動面として、該摺動面に潤滑油が存在する環境下で摺動する摺動部材の製造方法であって、
前記非晶質炭素皮膜の窒素含有量が2〜11原子%となるように、前記基材の表面に向けて窒素イオンビームを照射しながら、フィルタードアークデポジション法により基材の表面に炭素を蒸着させることにより、前記窒素を含有した非晶質炭素皮膜を成膜することを特徴とする摺動部材の製造方法。
IPC (5件)：
C23C 14/06
, C23C 14/24
, C23C 14/48
, F16C 33/14
, F16C 33/12
C23C14/06 F
, C23C14/24 F
, C23C14/48 D
, F16C33/14 Z
, F16C33/12 A
3J011AA10
, 3J011DA01
, 3J011DA02
, 3J011JA02
, 3J011LA04
, 3J011MA02
, 3J011QA04
, 3J011SE02
, 4K029AA02
, 4K029BA34
, 4K029BC02
, 4K029BD04
, 4K029CA03
, 4K029CA09
, 4K029DB02
, 4K029DD06
, 4K029DE02
