ティーチング装置およびティーチング方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (9件)：大野聖二 , 小林英了 , 大野浩之 , 森田耕司 , 津田理 , 松野知紘 , 酒谷誠一 , 佃誠玄 , 野本裕史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-072546
公開番号（公開出願番号）：特開2017-183647
出願日： 2016年03月31日
公開日（公表日）： 2017年10月05日
要約：

【課題】開閉可能な一対のアームにてウェハを把持して搬送するメカ機構に、短時間でかつ正確性にばらつきが生じないようにウェハの位置を教示できるティーチング装置を提供する。【解決手段】ティーチング装置は、アームに取り付けられるアーム側位置センサと、ステージ上に載置されるダミーウェハと、ダミーウェハに取り付けられるダミーウェハ側位置センサと、アーム側位置センサからの位置信号を受信してアーム側位置センサの位置座標を求めるとともに、ダミーウェハ側位置センサからの位置信号を受信してダミーウェハ側位置センサの位置座標を求める信号受信部とを備える。制御部は、ダミーウェハ側位置センサの位置座標に基づいてアームがウェハを把持する時のアーム側位置センサの位置座標を算出し、算出された位置座標へとアーム側位置センサが移動するようにアームを移動させる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ウェハが載置されるステージと、前記ウェハを把持する開閉可能な一対のアームと、前記ステージに対して前記一対のアームを移動させるアーム移動機構と、前記アーム移動機構の動作を制御する制御部と、前記一対のアームに取り付けられ、位置信号を送信するアーム側位置センサと、前記ステージ上に載置されるダミーウェハと、前記ダミーウェハに取り付けられ、位置信号を送信するダミーウェハ側位置センサと、前記アーム側位置センサからの位置信号を受信して前記アーム側位置センサの位置座標を求めるとともに、前記ダミーウェハ側位置センサからの位置信号を受信して前記ダミーウェハ側位置センサの位置座標を求める信号受信部と、を備え、前記制御部は、前記ダミーウェハ側位置センサの位置座標に基づいて、前記一対のアームが前記ウェハを把持する時の前記アーム側位置センサの位置座標を算出し、算出された位置座標へと前記アーム側位置センサが移動するように、前記アーム側位置センサの位置信号から求める前記アーム側位置センサの位置座標を確認しながら前記アーム移動機構の動作を制御して前記一対のアームを移動させることを特徴とするティーチングシステム。

IPC (4件)：

H01L 21/677 , B65G 49/07 , H01L 21/304 , B25J 15/08

FI (4件)：

H01L21/68 A , B65G49/07 F , H01L21/304 648A , B25J15/08 D

Fターム (45件)：

3C707AS24 , 3C707ES03 , 3C707ET03 , 3C707NS13 , 5F131AA02 , 5F131BA04 , 5F131BA05 , 5F131BA18 , 5F131BA19 , 5F131BA33 , 5F131BA37 , 5F131BB03 , 5F131CA45 , 5F131DA08 , 5F131DA32 , 5F131DA33 , 5F131DA36 , 5F131DA42 , 5F131DB15 , 5F131DB36 , 5F131DB62 , 5F131DB72 , 5F131DD03 , 5F131DD25 , 5F131DD43 , 5F131DD72 , 5F131KA15 , 5F131KA16 , 5F131KA52 , 5F131KA57 , 5F131KA72 , 5F131KB12 , 5F131KB32 , 5F131KB58 , 5F157AA70 , 5F157AA96 , 5F157AB02 , 5F157AB33 , 5F157AB90 , 5F157BA02 , 5F157BA13 , 5F157CD16 , 5F157CE09 , 5F157CF42 , 5F157DB45

引用特許：

審査官引用 (4件)

搬送装置の搬送位置の位置情報取得方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-073179 出願人：川崎重工業株式会社
特開平4-159094
搬送用ロボットおよび搬送用ロボットの教示方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-068726 出願人：株式会社安川電機

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