特許
J-GLOBAL ID:200903048677760875

搬送装置の搬送位置の位置情報取得方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 西教 圭一郎 ,  杉山 毅至 ,  廣瀬 峰太郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-073179
公開番号(公開出願番号):特開2005-260176
出願日: 2004年03月15日
公開日(公表日): 2005年09月22日
要約:
【課題】作業者の負担を低減して、搬送装置に搬送位置の位置情報を取得させる搬送装置の搬送位置情報取得方法を提供する。【解決手段】搬送位置に予めターゲット治具21が配置された状態で、ターゲット治具21にレーザ光を投光し、ターゲット治具21から反射したレーザ光を受光したときのハンド22の位置情報をエンコーダによって検出する。制御手段は、このハンド22の位置情報に基づいて搬送位置の情報を算出する。レーザ光はスポット径が小さく平行光であるので、ハンド22を搬送位置から離反させた状態でも、搬送位置の情報を精度よく取得することができる。したがって搬送位置情報の取得にあたって、搬送位置に対して近接した位置にハンド22を配置する必要がない。これによって作業者は、搬送位置情報の取得を開始するハンド22の開始位置を正確に教示する必要がなく、作業者の負担を低減することができる。【選択図】図2
請求項(抜粋):
被搬送物を保持する保持部と、保持部に関する位置情報を検出する位置情報検出手段と、保持部を変位駆動する駆動手段と、保持部に関連した位置に設けられ、レーザ光を投光するレーザ投光部と、保持部に関連した位置に設けられ、レーザ光を受光するレーザ受光部とを備えた搬送装置が予め定められる搬送位置の位置情報を取得する、搬送装置の搬送位置の位置情報取得方法であって、 搬送位置に予め設置される被検出体から離反した位置に保持部を移動させた状態で、レーザ投光部から被検出体側にレーザ光を投光させるとともに、保持部を変位させる探索工程と、 レーザ受光部が被検出体で反射したレーザ光を受光したときに、位置情報検出手段から検出される位置情報を取得し、その位置情報に基づいて、搬送位置に関する位置情報を算出する搬送位置情報取得工程とを有することを特徴とする搬送装置の搬送位置の位置情報取得方法。
IPC (2件):
H01L21/68 ,  B65G49/07
FI (2件):
H01L21/68 F ,  B65G49/07 C
Fターム (11件):
5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031GA36 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031JA01 ,  5F031JA06 ,  5F031JA28 ,  5F031JA32 ,  5F031JA51
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (11件)
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