特許
J-GLOBAL ID：201703016280800734
検査装置を用いたコンターベースの欠陥検出
発明者：
,
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-512836
特許番号：特許第6099635号
出願日： 2012年04月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 設計パターンの描画された画像を用いて基準画像から生成されたコンターを取得することと、
部位位置のターゲット画像を取得することと、
前記コンターを前記ターゲット画像に位置合わせすることと、
前記コンター上にピクセルに対する対比値を算出することと、
前記対比値に閾値を適用し、それによりコンターベースの欠陥ブロッブを判定することと、
前記ターゲット画像を、少なくとも前景セグメント、背景セグメント、およびコンターセグメントに分割することと、
を含む、ターゲット基板上で部位位置を検査する方法。
IPC (2件)：
H01L 21/66 ( 200 6.01)
, G06T 1/00 ( 200 6.01)
H01L 21/66 J
, G06T 1/00 305 A
