特許
J-GLOBAL ID：201703016394086420
圧力センサ、圧力センサシステム、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネル
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
日向寺 雅彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-029093
公開番号（公開出願番号）：特開2017-146237
出願日： 2016年02月18日
公開日（公表日）： 2017年08月24日
要約：
【課題】感度を向上できる圧力センサを提供する。【解決手段】実施形態の圧力センサは、膜部、第1センサ部、第1構造体を含む。膜部は、表面を有し変形可能である。第1センサ部は、表面の外縁の第1部分から離れた表面の一部に固定される。第1センサ部は、複数の第1検知素子を含む。複数の第1検知素子は、第1磁性層と、第1対向磁性層と、第1非磁性中間層と、を含む。第1構造体は、複数の第1検知素子の並ぶ方向に沿って第1センサ部と並ぶ。第1構造体は、第1構造体層と、第1対向構造体層と、第1中間構造体層と、を含む。第1構造体層は、第1対向構造体層の電位と同じ電位、及び、第1対向構造体層に対するフローティング電位の少なくともいずれかを有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
表面を有し変形可能な膜部と、
前記表面の外縁の第1部分から離れた前記表面の一部に固定された第1センサ部であって、前記第1センサ部は、前記表面に沿って並ぶ複数の第1検知素子を含み、前記複数の第1検知素子のそれぞれは、第1磁性層と、第1対向磁性層と、前記第1磁性層と前記第1対向磁性層との間に設けられた第1非磁性中間層と、を含む、前記第1センサ部と、
前記複数の第1検知素子の前記並ぶ方向に沿って前記第1センサ部と並ぶ第1構造体であって、前記第1構造体は、第1構造体層と、第1対向構造体層と、前記第1構造体層と前記第1対向構造体層との間に設けられた第1中間構造体層と、を含み、前記第1構造体層は、前記第1対向構造体層の電位と同じ電位、及び、前記第1対向構造体層に対するフローティング電位の少なくともいずれかを有する、前記第1構造体と、
を備えた圧力センサ。
IPC (3件)：
G01L 5/16
, G01L 1/12
, G01L 9/16
G01L5/16
, G01L1/12
, G01L9/16
2F051AA21
, 2F051AB05
, 2F051AB09
, 2F051DA03
, 2F055AA40
, 2F055BB20
, 2F055CC02
, 2F055DD20
, 2F055EE11
, 2F055FF11
, 2F055GG16
