エッチング液組成物及びエッチング方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：曾我道治 , 梶並順 , 大宅一宏 , 飯野智史
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-504640
特許番号：特許第6062418号
出願日： 2012年12月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】酸化インジウム系被膜と金属系被膜からなる積層膜を一括でエッチングするためのエッチング液組成物において、 (A)第二鉄イオン成分を第二鉄イオン濃度で1〜10質量%; (B)塩化水素成分1〜20質量%; (C)下記一般式(1)で表される化合物及び炭素数1〜4の直鎖または分岐状アルコールからなる群から選ばれる少なくとも1種以上の化合物成分0.1〜5質量% を含む水溶液からなることを特徴とするエッチング液組成物: (式中、R1、R3は各々独立に水素または炭素数1〜4の直鎖若しくは分岐状アルキル基を表し、R2は炭素数1〜4の直鎖若しくは分岐状アルキレン基を表し、nは1〜3の数を表す。)

IPC (3件)：