特許
J-GLOBAL ID：201703017198672490

平面度測定装置

発明者：
高梨 陵

高梨 陵 について


出願人/特許権者：
株式会社東京精密

株式会社東京精密 について


代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-040637
公開番号（公開出願番号）：特開2017-156256
出願日： 2016年03月03日
公開日（公表日）： 2017年09月07日
要約：
【課題】平面度測定装置が持つ特有の問題、つまり、スピンドルの回転軸が測定時に傾斜した際に、スピンドルの回転軸の傾斜量を検知し、検知したスピンドルの回転軸の傾斜量に基づいて測定精度の向上を図ることができる平面度測定装置を提供する。【解決手段】平面度測定装置10によれば、第2センサ58で検出されたスピンドル20の基準値からの変位量D2から、第1センサ56で検出されたスピンドル20の基準値からの変位量D1を減算し、この変位量減算値を、位置R2から位置R1を減算した距離減算値で除算する。これによって演算処理部46は、傾斜量Bを検知する。そして、検知した傾斜量Bと、検出器32によって検出した測定子30の変位量Cと、に基づいて演算処理部46がワーク14の平面度を算出する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ワークが載置されるテーブルと、 前記テーブルに連結され、前記テーブルを回転させるスピンドルと、 前記テーブルに載置された前記ワークの表面に接触する測定子の変位量を検出する検出器と、 前記ワークの測定開始前における回転停止状態の前記スピンドルの回転軸と、前記ワークの測定時における回転状態の前記スピンドルの回転軸との相対的な傾斜量Bを検知する検知部と、 を備える、平面度測定装置。
IPC (2件)：
G01B 5/28 ,  G01B 21/30
FI (2件)：
G01B5/28 101 ,  G01B21/30 101F
Fターム (33件)：
2F062AA55 ,  2F062AA71 ,  2F062BB08 ,  2F062CC30 ,  2F062DD17 ,  2F062EE01 ,  2F062FF17 ,  2F062GG17 ,  2F062HH05 ,  2F062MM01 ,  2F069AA54 ,  2F069CC06 ,  2F069DD12 ,  2F069EE20 ,  2F069EE22 ,  2F069GG01 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG12 ,  2F069GG35 ,  2F069GG52 ,  2F069GG58 ,  2F069GG62 ,  2F069HH02 ,  2F069HH09 ,  2F069HH15 ,  2F069JJ17 ,  2F069JJ25 ,  2F069MM33 ,  2F069NN08 ,  2F069NN12 ,  2F069QQ05 ,  2F069QQ07
引用特許：
審査官引用 (4件)
  • 3次元形状測定方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-146353   出願人：オリンパス株式会社
  • 円形状特性測定方法、装置及びプログラム
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-145301   出願人：株式会社ミツトヨ
  • 測定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-301920   出願人：ランク・テイラー・ホブソン・リミテッド
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