特許
J-GLOBAL ID:200903036264564883
3次元形状測定方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
篠原 泰司
, 藤中 雅之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-146353
公開番号(公開出願番号):特開2005-326344
出願日: 2004年05月17日
公開日(公表日): 2005年11月24日
要約:
【課題】信頼性の高い形状測定結果を得ることができる3次元形状測定方法を提供する。 【解決手段】3次元形状測定方法は、被測定物の回転軸方向と直交する方向から測定を行う補正値測定ステップが、被測定物2の保持部材3と回転機構5の位置関係を第1の相対位置にして測定を行うステップと、前記第1の位置関係とは異なる第2の相対位置にして測定を行う第2ステップを少なくとも有する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
被測定物を回転させながら回転軸方向から測定を行う形状測定ステップと、前記回転軸方向と直交する方向から測定を行う補正値測定ステップと、前記形状測定ステップの測定結果と前記補正値測定ステップの測定結果から前記被測定物の3次元形状を得る算出ステップとを備えた3次元形状測定方法であって、
前記補正値測定ステップは、保持部材と回転機構の位置関係を第1の相対位置にして測定を行う第1サブステップと、前記第1の位置関係とは異なる第2の相対位置にして測定を行う第2サブステップを少なくとも有することを特徴とする3次元形状測定方法。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (17件):
2F069AA21
, 2F069AA66
, 2F069CC05
, 2F069DD30
, 2F069EE04
, 2F069EE11
, 2F069EE22
, 2F069GG01
, 2F069GG52
, 2F069GG56
, 2F069GG59
, 2F069GG62
, 2F069HH02
, 2F069JJ05
, 2F069JJ17
, 2F069JJ19
, 2F069LL02
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
3次元形状測定機
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-143420
出願人:キヤノン株式会社
審査官引用 (5件)
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3次元形状測定機
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-143420
出願人:キヤノン株式会社
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光学素子形状測定方法及び装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-230398
出願人:オリンパス光学工業株式会社
-
特開平2-161305
-
形状測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-189462
出願人:株式会社ニコン
-
表面形状測定
公報種別:公表公報
出願番号:特願平9-521083
出願人:テイラーホブソンリミテッド
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引用文献:
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