特許
J-GLOBAL ID：201703017316290211

研磨装置および研磨方法

発明者：
柏木 誠

柏木 誠 について

, 
山下 道義

山下 道義 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (2件)： 渡邉 勇 ,  廣澤 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-078491
公開番号（公開出願番号）：特開2017-185612
出願日： 2016年04月08日
公開日（公表日）： 2017年10月12日
要約：
【課題】研磨荷重を適正な範囲内に維持することができる研磨装置を提供する。【解決手段】研磨装置は、研磨具7を基板Wに押し付けるための押圧部材11と、押圧部材11を基板保持部1上の基板Wに向かう所定の方向に付勢するアクチュエータ25と、押圧部材11と一体に移動可能な位置決め部材31と、押圧部材11および位置決め部材31の移動を制限するストッパー35と、ストッパー35を所定の方向に移動させるストッパー移動機構37と、押圧部材11に加えられる研磨荷重に従って変化する荷重フィードバック値を取得する研磨荷重検出部40,41と、荷重フィードバック値を設定範囲内に収めることができるストッパー35の移動速度を決定するストッパー速度決定部43を備える。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
基板を保持する回転可能な基板保持部と、 研磨具を前記基板に押し付ける押圧部材と、 前記押圧部材の押圧力を制御するアクチュエータと、 前記押圧部材と一体に移動可能な位置決め部材と、 前記押圧部材および前記位置決め部材の移動を制限するストッパーと、 前記ストッパーを所定の方向に移動させるストッパー移動機構と、 前記押圧部材に加えられた研磨荷重により変化する荷重フィードバック値を取得する研磨荷重検出部と、 前記荷重フィードバック値が設定範囲内に収まるように、前記ストッパーの移動速度を決定するストッパー速度決定部とを備えたことを特徴とする研磨装置。
IPC (4件)：
B24B 47/26 ,  B24B 21/06 ,  B24B 7/04 ,  H01L 21/304
FI (4件)：
B24B47/26 ,  B24B21/06 ,  B24B7/04 Z ,  H01L21/304 621E
Fターム (37件)：
3C034AA19 ,  3C034BB73 ,  3C034BB88 ,  3C034BB91 ,  3C034CA16 ,  3C034CB03 ,  3C034CB14 ,  3C034DD01 ,  3C034DD10 ,  3C043BA03 ,  3C043BA13 ,  3C043BA15 ,  3C043CC05 ,  3C043DD06 ,  3C158AA05 ,  3C158AA12 ,  3C158AA13 ,  3C158AB04 ,  3C158BA06 ,  3C158BA07 ,  3C158BB02 ,  3C158BB04 ,  3C158BC02 ,  3C158CA01 ,  3C158CB01 ,  3C158DA17 ,  5F057AA12 ,  5F057AA31 ,  5F057BA15 ,  5F057BB03 ,  5F057BB14 ,  5F057CA16 ,  5F057DA06 ,  5F057GA02 ,  5F057GA11 ,  5F057GA27 ,  5F057GB24
引用特許：
出願人引用 (4件)
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