特許
J-GLOBAL ID:201703017498699500
表面損傷検出方法および表面損傷検出装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
村上 友一
, 関 博
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-212250
公開番号(公開出願番号):特開2017-083312
出願日: 2015年10月28日
公開日(公表日): 2017年05月18日
要約:
【課題】検査対象面の表面状態に関わらず、また、検査範囲の広狭に関わらず、その表面の損傷の有無を効率的に検査し、損傷の虞を示すことのできる表面損傷検装置を提供する。【解決手段】検査対象物20の表面にレーザー光をライン状に照射するレーザーライン光源12と、前記表面に対するレーザー光の照射範囲における表面の凹凸形状に基づいて変化するレーザー光の軌跡形状をとらえるレーザーセンサー14と、レーザーセンサー14を介して得られるレーザー光の軌跡形状を階調の変化に変換して表面形状画像を生成する制御手段18を有する表面損傷検出装置10であって、制御手段18は、表面形状画像においてレーザー光の軌跡の欠落により階調が定義不能となる領域を抽出し、抽出した領域の周囲において、前記領域を中心とした階調の局所的な変化がある場合に、当該領域に貫通孔が存在すると判定することを特徴とする。【選択図】図1
請求項(抜粋):
検査対象の表面にレーザー光をライン状に照射し、前記表面に対する前記レーザー光の照射範囲における前記表面の凹凸形状に沿ったレーザー光の軌跡に基づく高低を階調の変化に変換して表した表面形状画像を用いた表面損傷検出方法であって、
前記表面形状画像において前記レーザー光の軌跡が欠落している事により前記階調が定義不能となる領域を抽出し、
抽出した前記領域の周囲において、前記領域を中心とした前記階調の局所的な変化がある場合に、当該領域に貫通孔が存在すると判定することを特徴とする表面損傷検出方法。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N21/894 Z
, G01B11/00 H
Fターム (33件):
2F065AA24
, 2F065AA49
, 2F065AA58
, 2F065BB13
, 2F065CC06
, 2F065FF04
, 2F065FF51
, 2F065GG04
, 2F065HH05
, 2F065JJ19
, 2F065JJ26
, 2F065QQ06
, 2F065QQ08
, 2F065QQ24
, 2F065QQ25
, 2F065QQ31
, 2F065QQ42
, 2F065RR06
, 2F065TT03
, 2G051AA88
, 2G051AB04
, 2G051BA10
, 2G051BA20
, 2G051CA03
, 2G051CB01
, 2G051DA06
, 2G051EA08
, 2G051EA16
, 2G051EB01
, 2G051EC01
, 2G051EC03
, 2G051ED09
, 2G051FA04
引用特許:
出願人引用 (5件)
-
損傷検出装置及び方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-005368
出願人:石川島播磨重工業株式会社, 株式会社エヌワイケイ輸送技術研究所
-
異物検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2013-014160
出願人:富士電機株式会社
-
基板検査システムおよび基板検査方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-168387
出願人:株式会社ニコン
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審査官引用 (5件)
-
損傷検出装置及び方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-005368
出願人:石川島播磨重工業株式会社, 株式会社エヌワイケイ輸送技術研究所
-
異物検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2013-014160
出願人:富士電機株式会社
-
基板検査システムおよび基板検査方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-168387
出願人:株式会社ニコン
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