ネガ型感光性樹脂組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：萼経夫 , 宮崎嘉夫 , 加藤勉 , 伴知篤
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-554281
特許番号：特許第6150072号
出願日： 2013年01月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】下記(A)成分、(B)成分及び(C)溶剤を含有するネガ型感光性樹脂組成物。 (A)成分:少なくとも(i)N-アルコキシメチル(メタ)アクリルアミドと、(ii)マレイミドとを含有するモノマー混合物を共重合した共重合体、 (B)成分:光酸発生剤、 (C)溶剤。

IPC (4件)：

G03F 7/038 ( 200 6.01) , G02B 5/30 ( 200 6.01) , C08F 220/58 ( 200 6.01) , G02B 5/20 ( 200 6.01)

FI (4件)：

G03F 7/038 601 , G02B 5/30 , C08F 220/58 , G02B 5/20 101

引用特許：

審査官引用 (6件)

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