特許
J-GLOBAL ID：201703018323521489

プラズマ処理装置およびその方法

発明者：
古賀 啓子

古賀 啓子 について

, 
佐野 洋一

佐野 洋一 について


出願人/特許権者：
学校法人 中村産業学園

学校法人 中村産業学園 について


代理人 (5件)： 有吉 修一朗 ,  森田 靖之 ,  筒井 宣圭 ,  遠藤 聡子 ,  梶原 圭太
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-164746
公開番号（公開出願番号）：特開2017-076603
出願日： 2016年08月25日
公開日（公表日）： 2017年04月20日
要約：
【課題】コンパクトでありながら、粉体などの被処理物の一回あたりの処理量が大きく増加し、処理時間も短い、プラズマ装置およびその方法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明を適用したプラズマ処理装置は、棒状電極6aがガラス管6bで被覆されて形成される放電棒6を互いに略平行に所定の周方向間隔yで略円環状に配設した電極ユニット2と、電極ユニット2の外側に配置され、粉体70が内部に封入されると共に、ガラスを有する筒状の放電容器3と、放電容器3の外側に配置した金網4と、電極ユニット2と金網4との間に交流またはパルス電圧を印加してグロー放電を発生させた状態で、放電容器3を回転させる回転装置5と、グロー放電の放電域45を電極ユニット2の内外に拡張可能な放電域拡張構造としての副電極ユニット21や前後の支持部72、76を備えたものである。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
棒状電極が第一誘電体で被覆されて形成される放電棒を互いに略平行に所定の周方向間隔で略円環状に配設した電極ユニットと、 該電極ユニットの外側に配置され、被処理物が内部に封入されると共に、第二誘電体を有する筒状の放電容器と、 該放電容器の外側に配置した外部電極体と、 前記電極ユニットと外部電極体との間に交流またはパルス電圧を印加してグロー放電を発生させた状態で、前記放電容器を回転させる回転装置と、 前記グロー放電の放電域を電極ユニットの内外に拡張可能な放電域拡張構造とを備えた プラズマ処理装置。
IPC (3件)：
H05H 1/24 ,  B01J 19/08 ,  B01F 9/02
FI (3件)：
H05H1/24 ,  B01J19/08 E ,  B01F9/02 D
Fターム (68件)：
2G084AA07 ,  2G084BB01 ,  2G084BB02 ,  2G084BB05 ,  2G084BB06 ,  2G084BB07 ,  2G084BB11 ,  2G084BB12 ,  2G084BB14 ,  2G084BB23 ,  2G084BB25 ,  2G084BB27 ,  2G084BB30 ,  2G084BB31 ,  2G084BB32 ,  2G084BB33 ,  2G084BB35 ,  2G084BB36 ,  2G084BB37 ,  2G084CC03 ,  2G084CC08 ,  2G084CC19 ,  2G084CC21 ,  2G084CC34 ,  2G084DD01 ,  2G084DD12 ,  2G084DD17 ,  2G084DD21 ,  2G084DD22 ,  2G084DD25 ,  2G084DD32 ,  2G084DD37 ,  2G084DD66 ,  2G084DD67 ,  2G084DD68 ,  2G084FF01 ,  2G084FF03 ,  2G084FF11 ,  2G084FF18 ,  2G084FF19 ,  2G084FF20 ,  2G084FF23 ,  2G084FF32 ,  2G084FF33 ,  2G084FF39 ,  2G084FF40 ,  4G036AA13 ,  4G036AA18 ,  4G075AA30 ,  4G075AA61 ,  4G075BA05 ,  4G075BB05 ,  4G075CA47 ,  4G075DA02 ,  4G075DA18 ,  4G075EA05 ,  4G075EB41 ,  4G075EC11 ,  4G075EC21 ,  4G075ED04 ,  4G075ED09 ,  4G075FA12 ,  4G075FB01 ,  4G075FB02 ,  4G075FB04 ,  4G075FB06 ,  4G075FB12 ,  4G075FC15
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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