特許
J-GLOBAL ID:201703018709927170

シート貼付装置およびシート貼付方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-268678
公開番号(公開出願番号):特開2014-116422
特許番号:特許第6053132号
出願日: 2012年12月07日
公開日(公表日): 2014年06月26日
請求項(抜粋):
【請求項1】 一方の面が接着面とされた接着シートを繰り出す第1繰出手段と、 前記接着シートの他方の面側から当該接着シートを支持可能な支持材を繰り出す第2繰出手段と、 前記支持材を前記接着シートの他方の面に押圧して貼付する第1押圧手段と、 前記支持材に支持された接着シートを被着体に押圧して貼付する第2押圧手段と、 前記第2押圧手段で押圧される支持材に対し、前記接着シートの繰り出し方向に交差する方向に張力を付与する幅方向張力付与手段と、 前記接着シートから前記支持材を剥離する支持材剥離手段とを備えることを特徴とするシート貼付装置。
IPC (1件):
H01L 21/683 ( 200 6.01)
FI (1件):
H01L 21/68 N
引用特許:
審査官引用 (8件)
全件表示

前のページに戻る