特許
J-GLOBAL ID：200903074212945675
ウエハ-マウント方法、ウエハ-マウント装置及びウエハ-マウント用テープ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
畑 泰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-235526
公開番号（公開出願番号）：特開平11-074231
出願日： 1997年09月01日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：
【要約】【課題】 粘着テープの幅方向と長手方向のテンションのばらつきを少なくして、ダイシング後のチップ形状を均一に保持し、製品の品質を向上させ、製品不良を低減する信頼性あるウエハ-マウント方法、およびその装置を提供する。【解決手段】 離型紙テープ部19を粘着ラベル部18から剥がしながら、所定の形状を有する当該ラベルシート層Aをウエハの所定の部位に貼着せしめるウエハ-マウント装置1に於いて、ラベルシート層16と粘着材層17とからなる粘着ラベル部18を少なくとも、ウエハに押圧せしめる押圧ローラー手段10に、粘着ラベル部18の幅方向に張力を付与するテンション付与手段を設けたウエハ-マウント装置1。
請求項（抜粋）：
ラベルシート層と粘着材層とが積層されて構成された粘着ラベル部と当該粘着材層を被覆する離型紙テープ部とから構成されたウエハ-マウント用テープの当該ラベルシート層と該粘着材層に予め定められた所定の形状に切断線部を設けておき、当該離型紙テープ部を該粘着ラベル部から剥がしながら、所定の形状を有する当該粘着ラベル部をウエハの所定の部位に貼着せしめるウエハ-マウント方法に於いて、少なくとも、当該粘着ラベル部の幅方向に張力を付与しながら当該ウエハに当該粘着ラベル部を貼着する様に構成された事を特徴とするウエハ-マウント方法。
FI (2件)：
H01L 21/78 M
, H01L 21/78 Q
