特許
J-GLOBAL ID：201703018869947878
流量制御装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八田国際特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-211922
公開番号（公開出願番号）：特開2015-075405
特許番号：特許第6216601号
出願日： 2013年10月09日
公開日（公表日）： 2015年04月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 流体が流れる流路と、
前記流路を流れる流体の流量を計測する流量計センサー部と、
前記流路を流れる流体の流量を設定された流量に調整する調整弁と、
前記流量計センサー部から出力された信号に基づいて流体の流量を演算する制御部と、を有し、
前記制御部は、
開かれた前記流路が前記調整弁によって閉じられた後、前記調整弁が閉じられた状態で、演算した流量値が流量「ゼロ」の誤差範囲として予め設定された閾値の範囲内であることを監視するゼロ値監視を行い、前記ゼロ値監視中に、演算した流量値が前記閾値の範囲を超えたときには、演算され前記閾値の範囲を超えた流量値を流量「ゼロ」の場合の新たなゼロ値とするゼロ値補正を行い、
前記ゼロ値監視は前記調整弁によって前記流路が開かれるまで継続され、
前記ゼロ値監視をしている場合に、演算した流量値が前記閾値の範囲を超えたときには、その都度、前記ゼロ値補正を行う流量制御装置。
IPC (2件)：
G01F 1/00 ( 200 6.01)
, G05D 7/06 ( 200 6.01)
G01F 1/00 X
, G01F 1/00 W
, G05D 7/06 Z
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (12件)
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