流体制御装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：青木篤 , 鶴田準一 , 島田哲郎 , 谷光正晴 , 西山雅也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-240448
公開番号（公開出願番号）：特開2007-058352
出願日： 2005年08月22日
公開日（公表日）： 2007年03月08日
要約：

【課題】本発明の課題は、半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、脈動した流体が流れても問題なく流量制御することができ、幅広い流量範囲で微細に流量を制御することができる流体制御装置を提供することにある。【解決手段】本発明に係る流体制御装置は、流路の開口面積を変化させることにより流体の流量を制御する流体制御弁と、流体の流量を計測し該流量の計測値を電気信号に変換し出力する流量計測器と、該流量計測器からの前記電気信号と設定流量との偏差に基づいて、前記流体制御弁の開口面積を制御するための指令信号を、前記流体制御弁または該流体制御弁を操作する機器へ出力する制御部と、を具備することを特徴としている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

流路の開口面積を変化させることにより流体の流量を制御する流体制御弁と、流体の流量を計測し該流量の計測値を電気信号に変換し出力する流量計測器と、該流量計測器からの前記電気信号と設定流量との偏差に基づいて、前記流体制御弁の開口面積を制御するための指令信号を、前記流体制御弁または該流体制御弁を操作する機器へ出力する制御部と、を具備することを特徴とする流体制御装置。

IPC (6件)：

G05D 7/06 , F16K 1/32 , F16K 31/04 , F16K 7/07 , F16K 7/06 , F16K 41/12

FI (6件)：

G05D7/06 Z , F16K1/32 B , F16K31/04 A , F16K7/07 A , F16K7/06 A , F16K41/12

Fターム (26件)：

3H052AA01 , 3H052CD02 , 3H052CD09 , 3H052DA01 , 3H052EA02 , 3H052EA16 , 3H062AA02 , 3H062AA15 , 3H062CC01 , 3H062DD01 , 3H062HH03 , 3H062HH10 , 3H066AA01 , 3H066DA09 , 3H066EA05 , 3H066EA12 , 5H307AA20 , 5H307BB05 , 5H307DD02 , 5H307DD13 , 5H307EE02 , 5H307EE07 , 5H307FF04 , 5H307GG01 , 5H307HH04 , 5H307KK01

引用特許：

出願人引用 (2件)

純水流量の制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-327309 出願人：シーケーディ株式会社
流体制御モジュール
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-358185 出願人：エヌティーインターナショナルインコーポレーテッド

審査官引用 (11件)

流量制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-326070 出願人：旭有機材工業株式会社
特開平2-257205
マスフローコントローラ
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-082297 出願人：株式会社エステック

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