特許
J-GLOBAL ID：201203041671524801

流量制御装置

発明者：
田中 祐紀

田中 祐紀 について

, 
鹿島 利弘

鹿島 利弘 について


出願人/特許権者：
株式会社堀場エステック

株式会社堀場エステック について


代理人 (3件)： 西村 竜平 ,  佐藤 明子 ,  齊藤 真大
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-121394
公開番号（公開出願番号）：特開2012-160215
出願日： 2012年05月28日
公開日（公表日）： 2012年08月23日
要約：
【課題】全閉状態における外部出力流量値に起因する種々の問題を解決することができるマスフローコントローラを提供する【解決手段】流路1内を流れる流体の流量を測定し、その測定流量値を出力する流量測定部2と、制御バルブ3と、前記制御バルブ3を強制的に全閉させる全閉指令、又は、目標値として設定される設定流量値に基づいて前記制御バルブ3の開度を制御するバルブ制御部42と、前記測定流量値に基づいた外部出力流量値を外部に出力する外部出力部41と、を備えたマスフローコントローラ100であって、前記バルブ制御部42が、前記全閉指令又は前記設定流量値としてゼロを受け付けてから、前記外部出力部41が、前記外部出力流量値を前記測定流量値に関わりなくゼロと出力するようにした。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
流路内を流れる流体の流量を測定し、その測定流量値を出力する流量測定部と、制御バルブと、前記制御バルブを強制的に全閉させる全閉指令、又は、目標値として設定される設定流量値に基づいて前記制御バルブの開度を制御するバルブ制御部と、前記測定流量値に基づいた外部出力流量値を外部に出力する外部出力部と、を備えた流量制御装置であって、 前記バルブ制御部が、前記全閉指令又は前記設定流量値としてゼロを受け付けてから、前記外部出力部が、前記外部出力流量値を前記測定流量値に関わりなくゼロ値として出力することを特徴とする流量制御装置。
IPC (1件)：
G05D 7/06
FI (1件)：
G05D7/06 Z
Fターム (5件)：
5H307AA20 ,  5H307DD20 ,  5H307EE02 ,  5H307FF06 ,  5H307FF12
引用特許：
出願人引用 (7件)
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