陽極酸化を援用した形状創成エッチング方法及び高精度形状創成方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：柳野隆生 , 森岡則夫 , 関口久由
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-060147
公開番号（公開出願番号）：特開2014-187131
特許番号：特許第6143283号
出願日： 2013年03月22日
公開日（公表日）： 2014年10月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】電解液の存在下で被加工物を陽極とするとともに、該被加工物に対向して配置した工具電極を陰極として電圧を印加して所定電流密度の電流を流し、被加工物の表面に酸化膜を形成する陽極酸化プロセスと、表面に酸化膜を形成した被加工物を、該酸化膜の溶解能を有する溶解液に接触させて酸化膜を溶解除去する溶解プロセスと、を含み、前記電解液と溶解液を混合した処理液を用いて前記陽極酸化プロセスと溶解プロセスを同時に進行させて、前記工具電極の作用部の形状に応じて目的形状を得ることを特徴とする陽極酸化を援用した形状創成エッチング方法。

IPC (3件)：