特許
J-GLOBAL ID:201703019010145210

光検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  柴山 健一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-006040
公開番号(公開出願番号):特開2017-125800
出願日: 2016年01月15日
公開日(公表日): 2017年07月20日
要約:
【課題】物品に欠けが有るか否かを精度良く判定することができる光検査装置を提供する。【解決手段】X線検査装置1は、物品GにX線を照射するX線照射部6と、物品Gを透過したX線を検出するX線検出部7と、X線検出部7から出力された信号に基づいて物品GのX線透過画像を生成し、X線透過画像に基づいて物品Gの検査を行う検査部と、を備える。検査部は、X線透過画像のうち物品Gに対応する領域について、所定方向における幅の中点を求め、複数の中点の位置に基づいて、物品Gに欠けが有るか否かを判定する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
物品に光を照射する光照射部と、 前記物品を透過した光を検出する光検出部と、 前記光検出部から出力された信号に基づいて前記物品の光透過画像を生成し、前記光透過画像に基づいて前記物品の検査を行う検査部と、を備え、 前記検査部は、前記光透過画像のうち前記物品に対応する領域について、所定方向における幅の中点を求め、複数の前記中点の位置に基づいて、前記物品に欠けが有るか否かを判定する、光検査装置。
IPC (4件):
G01N 23/18 ,  G01N 21/84 ,  G01N 23/04 ,  G01N 23/083
FI (4件):
G01N23/18 ,  G01N21/84 Z ,  G01N23/04 ,  G01N23/083
Fターム (18件):
2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA08 ,  2G001GA01 ,  2G001HA07 ,  2G001JA09 ,  2G001KA03 ,  2G001PA03 ,  2G001PA11 ,  2G051AB02 ,  2G051BA06 ,  2G051CA01 ,  2G051CA03 ,  2G051CB02 ,  2G051DA06 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14
引用特許:
審査官引用 (6件)
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