流量センサ素子

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：志賀正武 , 棚井澄雄 , 五十嵐光永 , 小室敏雄 , 清水雄一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-073153
公開番号（公開出願番号）：特開2017-181460
出願日： 2016年03月31日
公開日（公表日）： 2017年10月05日
要約：

【課題】本発明が解決しようとする課題は、カンチレバー部に過大な圧力が加わったとしてもカンチレバー部が破損するのを抑制することが可能な流量センサ素子を提供することである。【解決手段】第1のシリコン層と酸化シリコン層と第2のシリコン層とが順に積層した支持部と、支持部の中央に形成された開口と、開口に設けられ、支持部によって片持ち支持されたカンチレバー部と、を備え、カンチレバー部は支持部の第2のシリコン層が突出して形成されており、支持部の酸化シリコン層は、酸化シリコン層と第2のシリコン層の接合面と、酸化シリコン層の開口の側の端面とのなす角αが35〜50°である流量センサ素子。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

第1のシリコン層と酸化シリコン層と第2のシリコン層とが順に積層した支持部と、支持部の中央に形成された開口と、前記開口に設けられ、前記支持部によって片持ち支持されたカンチレバー部と、を備え、前記カンチレバー部は前記支持部の前記第2のシリコン層が突出して形成されており、前記支持部の前記酸化シリコン層は、前記酸化シリコン層と前記第2のシリコン層の接合面と、前記酸化シリコン層の前記開口の側の端面とのなす角αが35〜50°である流量センサ素子。

IPC (1件)：

G01F 1/28

FI (1件)：

G01F1/28 C

Fターム (3件)：

2F030CA04 , 2F030CC11 , 2F030CH05

引用特許：

審査官引用 (12件)

差圧検出素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2013-016665 出願人：株式会社フジクラ
特開平4-009770
特開昭62-009638

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