特許
J-GLOBAL ID：201703019063942767
ウェハを試験するための設備
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
江崎 光史
, 鍛冶澤 實
, 篠原 淳司
, 清田 栄章
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-523458
特許番号：特許第6100374号
出願日： 2013年05月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 1つの基板(6)の複数の電気接点上に押圧される複数の試験端子(8)を有する1つの走査ヘッド(7)によって複数の集積回路を試験するための設備であって、
当該設備は、前記走査ヘッド(7)が固定されている1つのフレーム(1)と、前記基板(6)を収容するための1つの基板キャリア(5)と、力を発生させるための1つの磁気要素とを有し、前記複数の試験端子(8)が、前記力によって前記集積回路の前記電気接点上に押圧される当該設備において、
少なくとも3つの磁石アクチュエータ(10)が設けられていて、それぞれ1つの距離センサ(11)が、これらの磁石アクチュエータ(10)に付設されていて、これらの磁石アクチュエータ(10)が、前記基板キャリア(5)の周りに配置されている結果、前記磁石アクチュエータ(10)と前記フレーム(1)との間の距離、すなわち前記基板キャリア(5)と前記走査ヘッド(7)との間の距離が調整可能であることを特徴とする設備。
IPC (2件)：
H01L 21/66 ( 200 6.01)
, G01R 31/28 ( 200 6.01)
H01L 21/66 B
, G01R 31/28 H
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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