ハンドラーおよび検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：増田達哉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-007466
公開番号（公開出願番号）：特開2013-148395
特許番号：特許第6040528号
出願日： 2012年01月17日
公開日（公表日）： 2013年08月01日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基体部と、部材を保持する保持部と、少なくとも一部が前記基体部および前記保持部の間に設けられ、前記保持部に保持された前記部材の位置を前記基体部に対して変える位置変更機構部と、を有し、前記位置変更機構部は、所定方向に移動可能に設けられている2次元移動部と、前記2次元移動部に対して回動可能に設けられている回動部と、前記2次元移動部に対して前記回動部を回動させる回動部用圧電アクチュエーターと、を有し、前記2次元移動部は、前記基体部に連結され、前記基体部に対して、前記回動部の回動軸に対して直交する第1方向に移動可能に設けられている第1移動部と、前記第1移動部に連結され、前記第1移動部に対して、前記回動部の回動軸に直交するとともに前記第1方向と交差する第2方向に移動可能に設けられている第2移動部と、を有し、前記基体部は、前記第2方向に移動可能であり、前記回動部用圧電アクチュエーターは、前記回動部の当該回動部の回動軸と交差する面に当接することを特徴とするハンドラー。

IPC (2件)：

G01R 31/26 ( 201 4.01) , G01R 31/28 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01R 31/26 Z , G01R 31/28 H

引用特許：

審査官引用 (10件)

電子部品検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-260161 出願人：セイコーエプソン株式会社
位置決め装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-047810 出願人：株式会社リコー
特開平2-111271

全件表示

前のページに戻る