試料格納用容器、荷電粒子線装置、及び画像取得方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：井上学 , 戸田裕二 , 岩崎重美
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-237411
公開番号（公開出願番号）：特開2014-089799
特許番号：特許第6051014号
出願日： 2012年10月29日
公開日（公表日）： 2014年05月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】荷電粒子線を試料に照射して得られる信号によって前記試料の画像を撮像する荷電粒子線装置の筐体内に、前記試料を格納した状態で設置される試料格納容器であって、前記試料を格納する格納容器と、前記荷電粒子線が通過または透過する隔膜と、当該試料格納容器の内部に設けられ、当該試料格納容器の内部の雰囲気状態を当該試料格納容器の外部の雰囲気状態とは異なる雰囲気状態下に保持した状態で、前記隔膜に対する前記試料の相対位置を水平方向及び垂直方向に可動とする位置調整機構と、前記位置調整機構と接続され、前記位置調整機構を当該試料格納容器の外部から操作することが可能なインターフェースと、を備え、前記格納容器の底面に前記荷電粒子線装置の試料ステージの一部と係合して連結する部材を有する、試料格納容器。

IPC (3件)：

H01J 37/20 ( 200 6.01) , H01J 37/18 ( 200 6.01) , H01J 37/244 ( 200 6.01)

FI (4件)：

H01J 37/20 F , H01J 37/20 D , H01J 37/18 , H01J 37/244

引用特許：

出願人引用 (4件)

電子顕微鏡の試料装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-175785 出願人：日本電子株式会社
荷電粒子ビーム・システム用の環境セル
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-237151 出願人：エフ・イ-・アイ・カンパニー
電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-337967 出願人：国立大学法人北海道大学, 独立行政法人産業技術総合研究所, 株式会社テクネックス工房

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審査官引用 (4件)

電子顕微鏡の試料装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-175785 出願人：日本電子株式会社
荷電粒子ビーム・システム用の環境セル
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-237151 出願人：エフ・イ-・アイ・カンパニー
電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-337967 出願人：国立大学法人北海道大学, 独立行政法人産業技術総合研究所, 株式会社テクネックス工房

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