特許
J-GLOBAL ID：200903000674679500
電子顕微鏡の試料装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-175785
公開番号（公開出願番号）：特開2009-259760
出願日： 2008年07月04日
公開日（公表日）： 2009年11月05日
要約：
【課題】試料を電子光学軸に対して傾けても、試料の透過像を得ることが出来る電子顕微鏡の試料装置を提供する。【解決手段】 電子銃2からの電子ビーム3を試料室9に配置された試料Sに照射し、試料を透過した電子ビームに基づく試料像を得る様に成した電子顕微鏡の試料装置で、試料保持体33を支持する試料ホルダ32、試料Sの移動及傾斜を行うゴニオメータ31、その一端部が試料室9内に位置する様に試料室壁に設けられたゴニオメータ支持体30、先端面に当たる部分が吹き抜けており、電子光学軸Oに垂直な上壁及び底壁それぞれ電子ビーム通過孔が開けられたガス雰囲気容器34、及び、ガス雰囲気容器34内を先端に取付け、容器34内にガスが導入可能に成され、試料室9内で電子光学軸Oに垂直な方向に移動可能に試料室壁に設けられた容器支持管37を備えている。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
電子ビーム発生手段からの電子ビームを試料室に配置された試料に照射し、該試料を透過した電子ビームに基づく試料像を得る様に成した電子顕微鏡の試料装置であって、先端部に試料を保持し該試料を真空外から前記試料室内に導入する試料ホルダと、電子光学軸上に配置され電子ビーム通過孔が開けられた密閉容器と、該密閉容器内にガスを供給する手段とから成り、前記密閉容器には開口部が開けられ、該開口部を介して前記試料ホルダの先端部が挿入される様に成した電子顕微鏡の試料装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01J37/20 C
, H01J37/20 A
, H01J37/18
5C001AA03
, 5C001AA04
, 5C001AA06
, 5C001BB03
, 5C001CC03
, 5C033KK09
出願人引用 (1件)
-
ガス雰囲気試料ホルダ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-305972
出願人：日本電子株式会社
審査官引用 (5件)
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