特許
J-GLOBAL ID：200903079799025559

電子顕微鏡

発明者：
徳本 洋志

徳本 洋志 について

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清水 哲夫

清水 哲夫 について

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大野 輝昭

大野 輝昭 について


出願人/特許権者：
国立大学法人 北海道大学

国立大学法人 北海道大学 について

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独立行政法人産業技術総合研究所

独立行政法人産業技術総合研究所 について

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株式会社 テクネックス工房

株式会社 テクネックス工房 について


代理人 (1件)： 鷲田 公一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-337967
公開番号（公開出願番号）：特開2006-147430
出願日： 2004年11月22日
公開日（公表日）： 2006年06月08日
要約：
【課題】 任意の試料(生細胞など生の生物試料を含む)に対して、前処理を全く必要とせず、大気圧の状態で観察を行うことができる電子顕微鏡を提供する。 【解決手段】 真空筐体100に電子透過膜(例えば、コロジオン膜)132付きの微小なオリフィス130を設けて差動排気を行う。また、電子線Bを走査する代わりに、可動ステージ202(特にスキャナ204)を用いて試料Sを走査する。さらに、試料Sを電子透過膜(コロジオン膜)132に近づけて、電子線Bの照射による試料Sからの反射電子R(および二次電子)を、高真空側の上部反射電子検出器304と大気圧側の下部反射電子検出器306(ならびに高真空側の二次電子検出器302)を用いて検出する。 【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
真空に耐えることができ、かつ、電子に対する透過性を有する電子透過膜と、 前記電子透過膜が取り付けられたオリフィスを一部に有する真空筐体と、 前記真空筐体の内部において電子線を前記電子透過膜に向かって案内する電子線照射手段と、 前記電子透過膜近傍の前記真空筐体の外部に配置され、前記電子線に対して相対移動可能に試料を載置する可動ステージと、 前記電子線の照射に基づく前記試料からの電子を検出する電子検出手段と、 を有することを特徴とする電子顕微鏡。
IPC (4件)：
H01J 37/28 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/16 ,  H01J 37/244
FI (4件)：
H01J37/28 B ,  G01N23/225 ,  H01J37/16 ,  H01J37/244
Fターム (15件)：
2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001BA15 ,  2G001CA03 ,  2G001DA06 ,  2G001HA13 ,  2G001JA02 ,  2G001PA11 ,  2G001SA01 ,  2G001SA04 ,  5C033NN01 ,  5C033NN02 ,  5C033UU03 ,  5C033UU04 ,  5C033UU10
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (12件)
  • 走査電子顕微鏡
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-070055   出願人：株式会社エリオニクス
  • 電子線描画装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-246473   出願人：株式会社日立製作所
  • 電子ビーム装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-182716   出願人：富士通株式会社
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