特許
J-GLOBAL ID:201703020025834096

基板固定装置、基板作業装置および基板固定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 振角 正一 ,  梁瀬 右司 ,  大西 一正
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-021307
公開番号(公開出願番号):特開2014-154627
特許番号:特許第6151925号
出願日: 2013年02月06日
公開日(公表日): 2014年08月25日
請求項(抜粋):
【請求項1】 互いに離間して配置される一対の搬送部材により下方から支持されながら搬送路に沿って搬送されるフィルム状の基板を前記搬送路の途中の作業位置で支持して固定する基板固定装置であって、 上方からの平面視で前記一対の搬送部材の間に位置するとともに前記作業位置に搬送された基板の下方に位置するバックアップ部材と、 前記作業位置に搬送された基板の外周部表面の上方に位置する基板押さえ部材と、 前記バックアップ部材および前記基板押さえ部材のうちの少なくとも一方を昇降させる昇降駆動部と、 前記一対の搬送部材の一方を支持する第1搬送フレームと、 前記一対の搬送部材の他方を支持する第2搬送フレームと を備え、 前記基板押さえ部材として、前記搬送路と平行にそれぞれ延設される第1基板押さえ部材と第2押さえ部材を有しており、 前記第1基板押さえ部材は前記一対の搬送部材の一方から上方に離間した状態で前記第1搬送フレームに取り付けられるとともに前記第2基板押さえ部材は前記一対の搬送部材の他方から上方に離間した状態で前記第2搬送フレームに取り付けられ、 前記昇降駆動部は、前記バックアップ部材を上昇させる、および/または前記基板押さえ部材を前記一対の搬送部材とともに下降させることで、前記バックアップ部材により前記基板のうち部品実装が行われる実装領域の下面全体を下方から支持しつつ前記一対の搬送部材から上方に前記基板を離間させた状態で前記バックアップ部材が支持する前記実装領域より外側の前記基板の外周部表面である非実装領域を前記第1基板押さえ部材および前記第2基板押さえ部材により下方に押さえ付けて前記基板の外周部の反りを矯正することを特徴とする基板固定装置。
IPC (1件):
H05K 13/04 ( 200 6.01)
FI (1件):
H05K 13/04 Q
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (7件)
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