特許
J-GLOBAL ID：201703020511546183
光学式表面形状検出システム、表面形状検出方法および表面形状検出プログラム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福島 祥人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-159829
公開番号（公開出願番号）：特開2015-031757
特許番号：特許第6140025号
出願日： 2013年07月31日
公開日（公表日）： 2015年02月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】観察対象物の表面形状を検出するための光学式表面形状検出システムであって、
受光素子と、
観察対象物の表面に光を照射するとともに観察対象物に照射された光を前記受光素子に導く光学系と、
前記受光素子の出力信号に基づいて観察対象物の表面形状を表す表面形状データを生成する表面形状データ生成部と、
仮想的に設定された触針の形状を表す触針データを記憶する触針データ記憶部と、
表面形状データ生成部により生成された表面形状データおよび前記触針データ記憶部に記憶される触針データに基づいて、前記触針が観察対象物の表面を移動する場合の前記触針の動きに相当する触針検出データを生成する触針検出データ生成部と備え、
前記触針は、基準位置と曲面状の先端部とを有し、
前記触針データは、前記先端部の曲率に関する曲率情報を含み、
前記触針検出データは、前記触針が観察対象物の表面を移動する場合における前記基準位置の軌跡を表す、光学式表面形状検出システム。
IPC (2件)：
G02B 21/00 ( 200 6.01)
, G01B 11/30 ( 200 6.01)
G02B 21/00
, G01B 11/30 102
