特許
J-GLOBAL ID：200903058567191846

表面性状測定機、形状解析プログラムおよび記録媒体

発明者：
門脇 聰一

門脇 聰一 について

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後藤 智徳

後藤 智徳 について

, 
小島 司

小島 司 について


出願人/特許権者：
株式会社ミツトヨ

株式会社ミツトヨ について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-045414
公開番号（公開出願番号）：特開2007-225380
出願日： 2006年02月22日
公開日（公表日）： 2007年09月06日
要約：
【課題】 本発明の目的は、ワークの表面粗さを測定する検出器の出力に基づいて、形状解析と表面粗さ解析を行えるようにして、検出器を形状測定用に交換する手間を不要とし、測定能率を向上させると共に同一環境条件下での解析を可能として測定・解析の高精度化を可能とする。【解決手段】 ワークの表面粗さを測定する検出器を備えた表面性状測定機において、ワークと表面粗さ測定用検出器とを相対的に回転駆動させ、検出器がワークの表面を走査した際に検出器の出力を入力して測定データとし、ワークの形状解析が指定された際に、測定データに転がり円うねりフィルタ処理を施した後、形状解析を行う。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
ワークの表面粗さを測定する検出器を備えた表面性状測定機において、 前記ワークと前記検出器とを相対的に回転駆動する回動手段と、 前記回動手段によって前記検出器が前記ワークの表面を走査した際に前記検出器の出力を入力して測定データとする入力手段と、 前記測定データに基づく前記ワークの形状解析が指定された際に、前記測定データに転がり円うねりフィルタ処理を施す転がり円うねりフィルタ処理手段と、 前記転がり円うねりフィルタ処理手段の出力に基づいて形状解析を行う形状解析手段と、 を備えたことを特徴とする表面性状測定機。
IPC (2件)：
G01B 5/28 ,  G01B 5/20
FI (2件)：
G01B5/28 102 ,  G01B5/20 R
Fターム (6件)：
2F062AA57 ,  2F062AA66 ,  2F062EE01 ,  2F062FF17 ,  2F062HH00 ,  2F062JJ00
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 特開昭62-276405号公報
  • 特願2005-324140号
審査官引用 (5件)
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