特許
J-GLOBAL ID：201703020680562031

検査ポイント設定装置、及び基板検査装置

発明者：
早川 真人

早川 真人 について


出願人/特許権者：
日置電機株式会社

日置電機株式会社 について


代理人 (2件)： 小宮 良雄 ,  大西 浩之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-154138
公開番号（公開出願番号）：特開2015-025693
特許番号：特許第6129011号
出願日： 2013年07月25日
公開日（公表日）： 2015年02月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板検査装置に設けられた移動可能なプローブを、基板上に設定された複数の検査ポイントに順番に移動させて検査を行うために、前記プローブを接触可能な同一ネットの複数の接触可能部位の内からいずれの前記接触可能部位を前記検査ポイントとして設定するかを決定する検査ポイント設定装置であって、 前記接触可能部位の前記基板上の位置の情報を示す位置リスト、前記接触可能部位のネットの情報を示すネットリスト、前記接触可能部位の所定の近傍範囲内に位置する他の前記接触可能部位の情報を示す近傍リスト、及び、前記プローブを順番に移動させていく前記検査ポイントの初期値が予め記録された検査順リストが、書き込まれる記憶手段と、 前記検査順リストに記録されている順番に従い、前記プローブの移動元の前記検査ポイントに対して前記近傍リストを参照すると共に、前記プローブの移動先の初期値の前記検査ポイントに対して前記ネットリストを参照し、前記移動元の検査ポイントの前記所定の近傍範囲内に位置し、かつ、前記移動先の初期値の検査ポイントと同一ネットである前記接触可能部位を前記移動先の検査ポイントの候補として抽出し、前記候補として抽出した前記接触可能部位と前記移動元の検査ポイントとの距離を前記位置リストに基づいて算出し、前記候補の中で最短の距離に位置する前記接触可能部位を、前記移動先の検査ポイントとする検査ポイント最適化手段とを、 備えることを特徴とする検査ポイント設定装置。
IPC (2件)：
G01R 31/28 ( 200 6.01) ,  G01R 31/02 ( 200 6.01)
FI (2件)：
G01R 31/28 H ,  G01R 31/02
引用特許：
出願人引用 (5件)
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