特許
J-GLOBAL ID：201703020976209485
結像光学素子の評価方法および結像光学素子の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-092634
公開番号（公開出願番号）：特開2016-212417
出願日： 2016年05月02日
公開日（公表日）： 2016年12月15日
要約：
【課題】面方向に並べられた複数枚のミラープレートを接合して得られる結像光学素子の評価を、簡易な手法により行なう結像光学素子の評価方法、を提供する。【解決手段】結像光学素子の評価方法は、複数枚のミラープレートをその面方向に並ぶように配置する工程と、複数枚のミラープレートの一方の面側に、コントラストの界面を有するチャートを配置することにより、複数枚のミラープレートの他方の面側にチャートの鏡映像551を形成する工程とを備える。鏡映像551として現れるコントラストの界面は、ミラープレート同士の接合部に対して非平行である。結像光学素子の評価方法は、複数枚のミラープレートによって形成されたチャートの鏡映像551の歪みを検出することにより、結像光学素子を評価する工程をさらに備える。【選択図】図12
請求項（抜粋）：
一方の面側に配置される被投影物の鏡映像を他方の面側の空間位置に結像させるための結像光学素子の評価方法であって、
複数枚のミラープレートをその面方向に並ぶように配置する工程と、
複数枚の前記ミラープレートの一方の面側に、コントラストの界面を有するチャートを配置することにより、複数枚の前記ミラープレートの他方の面側に前記チャートの鏡映像を形成する工程とを備え、
鏡映像として現れる前記コントラストの界面は、前記ミラープレート同士の接合部に対して非平行であり、さらに、
複数枚の前記ミラープレートによって形成された前記チャートの鏡映像の歪みを検出することにより、前記結像光学素子を評価する工程を備える、結像光学素子の評価方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
2H042DA02
, 2H042DA04
, 2H042DA11
, 2H042DA12
, 2H042DB07
, 2H042DC02
, 2H042DD04
, 2H042DE00
