スパッタリングターゲット

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：志賀正武 , 寺本光生 , 松沼泰史 , 細川文広 , 大浪一徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-028209
公開番号（公開出願番号）：特開2017-145459
出願日： 2016年02月17日
公開日（公表日）： 2017年08月24日
要約：

【課題】はんだ層が比較的厚く形成された場合であっても、ターゲット材/はんだ層界面、及び、はんだ層/バッキング材界面での反射波のピーク強度を低く抑えることができ、超音波探傷によって、はんだ層の欠陥を精度良く検出することが可能なスパッタリングターゲットを提供する。【解決手段】ターゲット材11とバッキング材12との間にはんだ層13を有するスパッタリングターゲット10であって、ターゲット材11の音響インピーダンスXkg/(m2・s)、バッキング材12の音響インピーダンスYkg/(m2・s)に対して、はんだ層13の音響インピーダンスZが、Z≧0.5×(X+Y)-27を満たすとされ、はんだ層13の平均厚さtaveが0.75mm以上2.0mm以下の範囲内とされ、はんだ層13の10箇所での測定値の標準偏差をσとするとき、3×σが0.2×tave以下の範囲内とされている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ターゲット材とバッキング材との間にはんだ層を有するスパッタリングターゲットであって、前記ターゲット材の音響インピーダンスXkg/(m2・s)、前記バッキング材の音響インピーダンスYkg/(m2・s)に対して、前記はんだ層の音響インピーダンスZkg/(m2・s)が、 Z≧0.5×(X+Y)-27 を満たすとともに、前記はんだ層の平均厚さtaveが0.75mm以上2.0mm以下の範囲内とされ、前記はんだ層の10箇所での測定値の標準偏差をσとするとき、3×σが0.2×tave以下の範囲内とされていることを特徴とするスパッタリングターゲット。

IPC (1件)：

C23C 14/34

FI (2件)：

C23C14/34 C , C23C14/34 B

Fターム (7件)：

4K029BA02 , 4K029BA08 , 4K029BC03 , 4K029CA05 , 4K029DC03 , 4K029DC13 , 4K029DC24

引用特許：

審査官引用 (5件)

スパッタリングターゲット製造用はんだ合金、およびこれを用いたスパッタリングターゲット
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-077541 出願人：三井金属鉱業株式会社
スパッタリングターゲットのろう接方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-310050 出願人：同和鉱業株式会社
円筒形スパッタリングターゲット並びにセラミックス焼結体及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-058953 出願人：東ソー株式会社

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引用文献：

審査官引用 (1件)

理科年表平成7年, 19941130, P.494-495

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