特許
J-GLOBAL ID:201703021434769243

接合体の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人 ユニアス国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-052619
公開番号(公開出願番号):特開2017-164782
出願日: 2016年03月16日
公開日(公表日): 2017年09月21日
要約:
【課題】 揮発物によって生じる接合材と被接合物との間の剥離を抑制することができ、高温での接合信頼性の高い接合体を得ることが可能な接合体の製造方法を提供すること。【解決手段】 焼結前層を有する加熱接合用シートを介して2つの被接合物が仮接着された積層体を準備する工程Aと、積層体を、下記で定義する第1の温度以下から第2の温度まで昇温する工程Bと工程Bの後、積層体の温度を所定範囲内に保持する工程Cと、を有し、工程Bの少なくとも一部の期間、及び、工程Cの少なくとも一部の期間において、積層体を加圧する接合体の製造方法。第1の温度:焼結前層の熱重量測定を行ったときに、前記焼結前層に含まれる有機成分が10重量%減少するときの温度。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
焼結前層を有する加熱接合用シートを介して2つの被接合物が仮接着された積層体を準備する工程Aと、 前記積層体を、下記で定義する第1の温度以下から第2の温度まで昇温する工程Bと 前記工程Bの後、前記積層体の温度を所定範囲内に保持する工程Cと、 を有し、 前記工程Bの少なくとも一部の期間、及び、前記工程Cの少なくとも一部の期間において、前記積層体を加圧することを特徴とする接合体の製造方法。 第1の温度:前記焼結前層の熱重量測定を行ったときに、前記焼結前層に含まれる有機成分が10重量%減少するときの温度。 前記工程B及び前記工程Cを大気下で行う場合、前記熱重量測定は、大気下で行い、前記工程B及び前記工程Cを窒素雰囲気下、還元ガス雰囲気下、又は、真空雰囲気下で行う場合、前記熱重量測定は、窒素雰囲気下で行う。
IPC (2件):
B23K 20/00 ,  B22F 7/08
FI (3件):
B23K20/00 310C ,  B22F7/08 E ,  B23K20/00 310M
Fターム (22件):
4E167AA18 ,  4E167AA21 ,  4E167AB04 ,  4E167AD05 ,  4E167BA02 ,  4E167BA05 ,  4E167BA09 ,  4E167BA11 ,  4E167BA19 ,  4K018BA01 ,  4K018BA02 ,  4K018BB04 ,  4K018BB05 ,  4K018BD04 ,  4K018CA08 ,  4K018CA09 ,  4K018CA44 ,  4K018DA32 ,  4K018DA33 ,  4K018DA50 ,  4K018JA36 ,  4K018KA32
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (2件)

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