Zhang Chenchen について
School of Electrical Engineering and Computer Science, Materials Research Institute, The Pennsylvania State University, University Park, PA, 16802, USA について
Tadigadapa Srinivas について
School of Electrical Engineering and Computer Science, Materials Research Institute, The Pennsylvania State University, University Park, PA, 16802, USA について
Sensors and Actuators. A. Physical について
RIE【エッチング】 について
誘導結合プラズマ について
イオン電流 について
ホウケイ酸ガラス について
アルミノケイ酸ガラス について
石英ガラス について
フッ素 について
アルミノケイ酸塩 について
統計解析 について
エッチング について
アルミニウム について
ラジカル について
フッ化物 について
エッチング速度 について
ガラス基板 について
誘導結合プラズマエッチング について
シリカエッチング について
ガラスエッチング について
高アスペクト比のシリカエッチング について
ガラスマイクロマシニング について
NF_3 について
H_2O について
ガスディフューザ について
固体デバイス製造技術一般 について
溶融石英 について
ほうけい酸塩 について
アルミノけい酸塩 について
ガラス基板 について
高アスペクト比エッチング について
誘導結合プラズマ について
反応性イオンエッチング について
プロセス について