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J-GLOBAL ID：201802221346980629   整理番号：18A0321310

多層透明板の光学的厚さの統計的干渉測定

Statistical and interferometric determination of the optical thickness of a multilayer transparent plate

著者 (2件)： KIM Yangjin (Pusan National Univ., Busan, KOR) ,  HIBINO Kenichi (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
資料名： Optical Review (Web)  (Optical Review (Web))
巻： 24  号： 6  ページ： 734-740 (WEB ONLY)  発行年： 2017年12月 
JST資料番号： U0709A  ISSN： 1349-9432  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ・光学部品の光学的厚さを測定するための波長調整フィゾー干渉法では,高調波と位相シフト誤差により位相分布に系統誤差が発生することが問題。
・この問題を解決するために,2次高調波と位相シフト誤差の間の結合誤差と1次非線形性を補償できる位相シフトアルゴリズムについて検討。
・位相シフトアルゴリズムの性能を周波数領域におけるフーリエ解析法を用いて推定。
・波長調整フィゾー干渉計と位相シフトアルゴリズム利用して高反射ニオブ酸リチウム結晶ウェハの光学的厚さを測定。
・統計的検定法を使用して測定データから光学的厚さを測定し,系統誤差の低減を実証。

シソーラス用語： *光干渉法 ,  統計的方法 ,  *光学的厚さ ,  多層構造 ,  透明材料 ,  *位相板 ,  ニオブ酸リチウム ,  干渉計 ,  アルゴリズム ,  位相シフト ,  周波数領域 ,  光学部品検査 ,  同調 ,  系統誤差 ,  非線形性 ,  ウエハ【IC】 ,  高調波 ,  Fourier解析
準シソーラス用語： Fizeau干渉計

分類 (2件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  光デバイス一般  (BD06010L)

引用文献 (23件)：

• de Groot, P., Deck, L.: Surface profiling by analysis of white-light interferograms in the spatial frequency domain. J. Mod. Opt. 42, 389-401 (1995)
• Fukano, T., Yamaguchi, I.: Simultaneous measurement of thickness and refractive indices of multiple layers by a low-coherence confocal interference microscope. Opt. Lett. 21, 1942-1944 (1996)
• Haruna, M., Ohmi, M., Mitsuyama, T., Tajiri, H., Maruyama, H., Hashimoto, M.: Simultaneous measurement of the phase and group indices and the thickness of transparent plates by low-coherence interferometry. Opt. Lett. 23, 966-968 (1998)
• de Groot, P.: Measurement of transparent plates with wavelength-tuned phase shifting interferometry. Appl. Opt. 39, 2658-2663 (2000)
• Coppola, G., Ferraro, P., Iodice, M., De Nicola, S.: Method for measuring the refractive index and the thickness of transparent plates with a lateral-shear, wavelength-scanning interferometer. Appl. Opt. 42, 3882-3887 (2003)

タイトルに関連する用語 (5件)： 多層 ,  透明板 ,  光学的厚さ ,  統計 ,  干渉測定