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J-GLOBAL ID：201802225401880306   整理番号：18A1330514

同時スパッタリングおよび(t-C₄H₉)₂S₂を用いたポストデポジション硫化によって製造されたMo_1-xW_xS₂に関する研究

Investigation on Mo_1-xW_xS₂ fabricated by co-sputtering and post-deposition sulfurization with (t-C₄H₉)₂S₂

著者 (11件)： HIBINO Yusuke (Meiji Univ., Kawasaki, JPN) ,  ISHIHARA Seiya (Meiji Univ., Kawasaki, JPN) ,  ISHIHARA Seiya (Japan Soc. for the Promotion of Sci., Tokyo, JPN) ,  SAWAMOTO Naomi (Meiji Univ., Kawasaki, JPN) ,  OHASHI Takumi (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN) ,  MATSUURA Kentarou (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN) ,  MACHIDA Hideaki (Gas-Phase Growth Ltd., Tokyo, JPN) ,  ISHIKAWA Masato (Gas-Phase Growth Ltd., Tokyo, JPN) ,  SUDOH Hiroshi (Gas-Phase Growth Ltd., Tokyo, JPN) ,  WAKABAYASHI Hitoshi (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN) ,  OGURA Atsushi (Meiji Univ., Kawasaki, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 57  号： 6S1  ページ： 06HB04.1-06HB04.4  発行年： 2018年06月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *スパッタリング ,  硫化 ,  *タングステン化合物 ,  *モリブデン化合物 ,  X線光電子分光法 ,  Ramanスペクトル ,  比率 ,  *バンドギャップ ,  吸収端
準シソーラス用語： *同時スパッタリング ,  原子比

分類 (2件)： 金属酸化物及び金属カルコゲン化物の結晶構造  (BK07020Y) ,  半導体の可視・紫外スペクトル  (BM08083Y)

引用文献 (36件)：

• D. Sarkar, X. Xie, W. Liu, W. Cao, J. Kang, Y. Gong, S. Kraemer, P. M. Ajayan, and K. Banerjee, Nature 526, 91 (2015).
• R. Samnakay, C. Jiang, S. L. Rumyantsev, M. S. Shur, and A. A. Balandin, Appl. Phys. Lett. 106, 023115 (2015).
• L. Ci, L. Song, C. Jin, D. Jariwala, D. Wu, Y. Li, A. Srivastava, Z. F. Wang, K. Storr, L. Balicas, F. Liu, and P. M. Ajayan, Nat. Mater. 9, 430 (2010).
• Z. P. Ling, R. Yang, J. W. Chai, S. J. Wang, W. S. Leong, Y. Tong, D. Lei, Q. Zhou, X. Gong, D. Z. Chi, and K.-W. Ang, Opt. Express 23, 13580 (2015).
• H. Terrones, E. Del Corro, S. Feng, J. M. Poumirol, D. Rhodes, D. Smirnov, N. R. Pradhan, Z. Lin, M. A. T. Nguyen, A. L. Elías, T. E. Mallouk, L. Balicas, M. A. Pimenta, and M. Terrones, Sci. Rep. 4, 4215 (2014).

タイトルに関連する用語 (4件)： 同時スパッタリング ,  ポジション ,  硫化 ,  研究