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J-GLOBAL ID：201802227419180313   整理番号：18A1919122

レーザの集中照射を利用した光プローブの水平分解能向上に関する基礎研究

Basic study on optical probe lateral resolution by the collecting laser irradiation

著者 (2件)： 澤野宏 (明治大学理工学部) ,  南賢太 (明治大学理工学部)
資料名： 実験力学  (JSEM)
巻： 18  号： 3  ページ： 206-213(J-STAGE)  発行年： 2018年 
JST資料番号： L4590A  ISSN： 1346-4930  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 光プローブは完全に非接触状態で試料の形状を測定でき,垂直分解能が高い。したがって,光プローブはプロフィール測定に広く使われている。しかし,光学プローブは水平解能が低いという問題がある。光プローブの水平分解能は測定点でのレーザのスポットサイズに依存し,一般的には垂直分解能よりも1桁以上低い。光プローブの水平分解能の改善により,測定精度の向上と適用範囲の拡大が期待できる。そこで本研究は,レーザ集中照射により高い水平分解能の光プローブを新たに提案した。本研究では,多方向からのレーザ集中照射を利用した光プローブを構築し,原理検証実験を行った。さらに,段差標準片における段差プロフィールと光プローブ出力との関係を調べ,水平分解能を改善するための本提案の測定法の有用性を評価した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *レーザ照射 ,  *光プローブ ,  *分解能 ,  *形状測定 ,  長さ ,  *測定精度 ,  実験 ,  高さ ,  標準片 ,  加工 ,  *工作精度 ,  *精密測定 ,  *高分解能
準シソーラス用語： *レーザ集中照射 ,  *水平分解能 ,  スポットサイズ ,  垂直分解能 ,  検証実験 ,  段差 ,  部品加工

著者キーワード (10件)： プロファイル測定 ,  光プローブ ,  高い横方向分解能 ,  レーザ照射の収集 ,  ステップ形状 ,  プロファイル測定 ,  光プローブ ,  高い横方向分解能 ,  レーザ照射の収集 ,  ステップ形状

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

引用文献 (10件)：

• 1) Peters, J. et al.: Contribution of CIRP to the development of metrology and surface quality evaluation during the last fifty years, CIRP Annals, 50-2 (2001), 471-488.
• 2) Lonardo, P.M., Lucca, D.A. and Chiffre, L.D.: Emerging trends in surface metrology, CIRP Annals, 51-2 (2002), 701-723.
• 3) Ishizu, C. and Nemoto, K.: Current state of minute form measuring technology (in Japanese), Journal of the Japan Society for Precision Engineering, 74-3 (2008), 235-238.
• 4) Binnig, G., Rohrer, H., Gerber, C. and Weibel E.: Surface studies by scanning tunneling microscopy, Physical Review Letters, 49-1 (1982), 57-61.
• 5) Binnig, G., Quate, C.F. and Gerber C.: Atomic force microscope, Physical Review Letters, 56-9 (1986), 930-933.

タイトルに関連する用語 (5件)： レーザ ,  光プローブ ,  水平分解能 ,  基礎 ,  研究