文献

J-GLOBAL ID：201802228209465733   整理番号：18A0319909

サファイアの2次元低空間周波数レーザに誘起された周期的表面構造化

Two-Dimensional Low Spatial Frequency Laser-Induced Periodic Surface Structuring of Sapphire

著者 (3件)： SCHWARZ Simon (Univ. Applied Sci., Aschaffenburg, DEU) ,  RUNG Stefan (Univ. Applied Sci., Aschaffenburg, DEU) ,  HELLMANN Ralf (Univ. Applied Sci., Aschaffenburg, DEU)
資料名： Journal of Laser Micro/Nanoengineering (Web)  (Journal of Laser Micro/Nanoengineering (Web))
巻： 12  号： 2  ページ： 67-71 (WEB ONLY)  発行年： 2017年09月 
JST資料番号： U0377A  ISSN： 1880-0688  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 透明材料上に2次元低空間周波数レーザに誘起された周期的表面構造の発生を報告する。透過光学顕微鏡に可能性のある応用に刺激されて,1030nmの波長,222fsのパルス幅,及び50MHzの繰り返し速度の赤外フェムト秒レーザを使って,高度に一様な低空間周波数LIPSSの2次元検流計スキャナーと併用して,サファイア基板全体を構造化することに成功した。レーザフルエンス,走査速度,及びレーザ偏光に対する走査方向を変化して,1次元と2次元の周期的に構造化する過程を最適化し,アブレーション閾値より上のレーザフルエンスでレーザ偏光に直交する走査が,高度の不均一性と平行性で,低い損傷の高品質構造化を得る上で優先的になることが分った。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *空間周波数 ,  サファイア ,  *フェムト秒レーザ ,  パルスレーザ照射 ,  周期構造 ,  *表面構造 ,  *レーザアブレーション ,  レーザスキャナ ,  赤外レーザ ,  構造形成 ,  基板
準シソーラス用語： *サファイア基板

分類 (2件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (37件)：

• M. Birnbaum: J. Appl. Phys., 36, (1965) 3688.
• A. Cunha, A. P. Serro, V. Oliveira, A. Almeida, R. Vilar, M.-C. Durrieu: Appl. Surf. Sci., 265, (2013) 688.
• J. E. Sipe, J. F. Young, J. S. Preston, H. M. van Driel: Phys. Rev. B, 27, (1983) 1141.
• C. Albu, A. Dinescu, M. Filipescu, M. Ulmeanu, M. Zamfirescu: Appl. Surf. Sci., 278, (2013) 347.
• J. Bonse, A. Rosenfeld, J. Krüger: Appl. Phys., 106, (2009) 104910.

タイトルに関連する用語 (6件)： サファイア ,  2次元 ,  空間周波数 ,  レーザ ,  誘起 ,  表面構造