Wang Fang について
School of Electrical & Electronic Information Engineering, Tianjin Key Laboratory of Film Electronic &Communication Devices, Tianjin University of Technology, Tianjin 300384, China について
Xiao Fuliang について
School of Electrical & Electronic Information Engineering, Tianjin Key Laboratory of Film Electronic &Communication Devices, Tianjin University of Technology, Tianjin 300384, China について
Song Dianyou について
School of Electrical & Electronic Information Engineering, Tianjin Key Laboratory of Film Electronic &Communication Devices, Tianjin University of Technology, Tianjin 300384, China について
Qian Lirong について
School of Electrical & Electronic Information Engineering, Tianjin Key Laboratory of Film Electronic &Communication Devices, Tianjin University of Technology, Tianjin 300384, China について
Feng Yulin について
School of Electrical & Electronic Information Engineering, Tianjin Key Laboratory of Film Electronic &Communication Devices, Tianjin University of Technology, Tianjin 300384, China について
Fu Bangran について
School of Electrical & Electronic Information Engineering, Tianjin Key Laboratory of Film Electronic &Communication Devices, Tianjin University of Technology, Tianjin 300384, China について
Dong Kaifei について
School of Electrical & Electronic Information Engineering, Tianjin Key Laboratory of Film Electronic &Communication Devices, Tianjin University of Technology, Tianjin 300384, China について
School of Electrical & Electronic Information Engineering, Tianjin Key Laboratory of Film Electronic &Communication Devices, Tianjin University of Technology, Tianjin 300384, China について
Zhang Kailiang について
School of Electrical & Electronic Information Engineering, Tianjin Key Laboratory of Film Electronic &Communication Devices, Tianjin University of Technology, Tianjin 300384, China について
Microelectronic Engineering について
ロッキングカーブ について
原子間力顕微鏡 について
結晶粒 について
最適化 について
弾性表面波素子 について
窒化アルミニウム について
音速 について
基板温度 について
薄膜 について
電子ビームリソグラフィー について
薄膜成長 について
X線回折 について
マグネトロンスパッタリング について
リフトオフ について
圧電定数 について
圧電特性 について
SAW について
窒化アルミニウム について
(002)方位 について
圧電特性 について
電子ビームリソグラフィー について
トランジスタ について
金属-絶縁体-半導体構造 について
AlN について
微小 について
面積 について
圧電特性 について
研究 について
高周波 について
SAWデバイス について
作製 について