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J-GLOBAL ID:201802250633626928   整理番号:18A1805345

引張歪(100)/(001)配向エピタキシャル正方晶PZT膜における2次元から3次元への分域構造転移【JST・京大機械翻訳】

Domain structure transition from two to three dimensions in tensile strained (100)/(001)-oriented epitaxial tetragonal PZT film
著者 (5件):
資料名:
巻: 113  号: 13  ページ: 132905-132905-5  発行年: 2018年 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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30nm厚さのPb(Zr_0.05Ti_0.95)O_3薄膜を,金属有機化学蒸着により(001)KTaO_3単結晶基板上に600°Cでエピタキシャル成長させた。膜は面外分極を有するc-ドメインと面内分極を有するa-ドメインから成るa-ドメインと面内極性軸が互いに直交するa-ドメインの組合せによって形成されたa-ドメインの混合物から成る。550°CのCurie温度(Tc)以上の膜は面内引張歪下にあり,温度が低下するとCurie温度で1/a_2ドメインに変態することが分かった。このa_1/a_2分域は,350°C以下でa_1/a_2分域とa_1/a_2分域の混合物にさらに変化した。これは,a_1/a_2ドメインの二次元ドメイン構造がTc以下で三次元に変化することを示した。a/cドメインは歪を緩和するために誘導されたが,a_1/a_2ドメインはまだ緩和されていなかった。これは,広く研究されている面内圧縮歪膜とは異なり,一つから三次元のドメイン構造を持っている。Copyright 2018 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (2件):
分類
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強誘電体,反強誘電体,強弾性  ,  酸化物薄膜 

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