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J-GLOBAL ID：201802256321468087   整理番号：18A1758424

レーザ照射を用いたレジスト剥離現象の時間分解解析

Time-resolved Analysis of Resist Stripping Phenomenon Using Laser Irradiation

著者 (6件)： Kamimura Tomosumi (Department of Electronics, Information and Communication Engineering, Osaka Institute of Technology) ,  Umeda Yuji (Department of Electronics, Information and Communication Engineering, Osaka Institute of Technology) ,  Kuramae Hiroyuki (Department of Robotics, Osaka Institute of Technology) ,  Nuno Kosuke (Department of Electronics, Information and Communication Engineering, Osaka Institute of Technology) ,  Nakamura Ryosuke (Science & Technology Entrepreneurship Laboratory, Osaka University) ,  Horibe Hideo (Department of Applied Chemistry and Bioengineering, Graduate School of Engineering, Osaka City University)
資料名： Journal of Photopolymer Science and Technology  (Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻： 31  号： 3  ページ： 413-418(J-STAGE)  発行年： 2018年 
JST資料番号： L0202A  ISSN： 0914-9244  CODEN： JSTEEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： レーザ照射によるレジスト剥離現象を,時間分解解析を用いて観察した。プローブレーザ照射によるレジスト剥離現象の時間変化を,プローブレーザの強度変化の観点から観察した。水中でのレーザ照射に関しては,プローブレーザ強度は約40μs後に最大に達した。FE解析結果から,8nsのポンプレーザ照射の間にレジスト内部に-10MPaの大きな圧縮応力が発生することを確認した。この圧縮応力の発生はレジスト剥離プロセスの開始に重要であり,レジスト除去効率を改善するものと考えられる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 計測 ,  剥離 ,  有限要素法 ,  レーザ照射 ,  効率 ,  圧縮応力 ,  光学顕微鏡 ,  強度 ,  *レーザ加工 ,  *レジスト ,  レーザ強度 ,  時間分解法
準シソーラス用語： レジスト剥離現象 ,  除去効率 ,  剥離現象

著者キーワード (6件)： 時間分解解析 ,  レジストストリッピング現象 ,  有限要素法(FE)法 ,  ポンプレーザ照射 ,  除去効率 ,  圧縮応力

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (20件)：

• 1. M. Strobel, C. S. Lyons, and K. L. Mittal, VSP, Utrecht, The Netherlands, 1994.
• 2. E. M. Liston, J. J. Pireaux, P. Bertrand, and J. L. Bredas, Eds., Institute of Physics, Belgium, (1991) 429.
• 3. H. Morinaga, M. Suyama, and T. Ohmi, J. Electrochem. Soc., 141 (1994) 2834.
• 4. H. Morinaga, T. Futatsuki, T. Ohmi, E. Fuchita, M. Oda, and C. Hayashi, J. Electrochem. Soc., 142 (1995) 966.
• 5. M. N. Kawaguchi, J. S. Papanu, B. Su, M. Castle, and A. Al-Bayati, J. Vac. Sci. Technol. B, 24 (2006) 657.

タイトルに関連する用語 (5件)： レーザ照射 ,  レジスト ,  剥離現象 ,  分解 ,  解析