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J-GLOBAL ID：201802261410488541   整理番号：18A0718146

裏面照射型近赤外イメージセンサーに向けた石英基板上単結晶GeSnフォトダイオードアレイの開発

Single-crystalline GeSn Photodiode Array on Quartz Substrate for Back-side Illuminated Near-infrared Image Sensor

著者 (7件)： 岡博史 (大阪大 大学院工学研究科) ,  井上慶太郎 (大阪大 大学院工学研究科) ,  NGUYEN Thi Thuy (広島大 ナノデバイス・バイオ融合科研) ,  黒木伸一郎 (広島大 ナノデバイス・バイオ融合科研) ,  細井卓治 (大阪大 大学院工学研究科) ,  志村考功 (大阪大 大学院工学研究科) ,  渡部平司 (大阪大 大学院工学研究科)
資料名： 映像情報メディア学会技術報告
巻： 42  号： 10(IST2018 11-25)  ページ： 47-50  発行年： 2018年03月02日 
JST資料番号： S0209A  ISSN： 1342-6893  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近赤外帯域(2-5μm)でのイメージング/センシングは暗視装置や環境測定,生体計測など様々な分野への応用が期待されている。IV族混晶であるGeSnはSn組成に応じてバンドギャップが縮小しカットオフ波長が1.55μm以上に長波長化することから,III-V族化合物に代わる近赤外受光材料として近年注目されている。本研究ではIV族ベースの高感度近赤外イメージセンサー実現に向け,レーザー溶融結晶化技術を用いて石英基板上に裏面照射型単結晶GeSnフォトダイオードアレイを作製したので報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *イメージセンサ ,  *フォトダイオードアレイ検出器 ,  フォトダイオード ,  近赤外線 ,  赤外線カメラ ,  石英ガラス ,  基板 ,  単結晶 ,  生体計測
準シソーラス用語： 石英基板

分類 (2件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  光導電素子  (NC03083X)

タイトルに関連する用語 (7件)： 近赤外 ,  イメージセンサー ,  石英基板 ,  単結晶 ,  フォトダイオード ,  アレイ ,  開発