Zhang Qingzhu について
State Key Laboratory of Advanced Materials for Smart Sensing, General Research Institute for Nonferrous Metals, Beijing 100088, China について
Zhang Qingzhu について
Key Laboratory of Microelectronics Devices & Integrated Technology, Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, (IMECAS), Beijing 100029, China について
Tu Hailing について
State Key Laboratory of Advanced Materials for Smart Sensing, General Research Institute for Nonferrous Metals, Beijing 100088, China について
Yin Huaxiang について
Key Laboratory of Microelectronics Devices & Integrated Technology, Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, (IMECAS), Beijing 100029, China について
Yin Huaxiang について
University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China について
Wei Feng について
State Key Laboratory of Advanced Materials for Smart Sensing, General Research Institute for Nonferrous Metals, Beijing 100088, China について
Li Junjie について
Key Laboratory of Microelectronics Devices & Integrated Technology, Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, (IMECAS), Beijing 100029, China について
Meng Lingkuan について
Key Laboratory of Microelectronics Devices & Integrated Technology, Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, (IMECAS), Beijing 100029, China について
Zhang Zhaohao について
Key Laboratory of Microelectronics Devices & Integrated Technology, Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, (IMECAS), Beijing 100029, China について
Yan Jiang について
College of Electronic and Information Engineering, North China University of Technology, Beijing 100144, China について
Zhao Hongbin について
State Key Laboratory of Advanced Materials for Smart Sensing, General Research Institute for Nonferrous Metals, Beijing 100088, China について
Ma Tongda について
National Center of Analysis and Testing for Non-ferrous Metals & Electronic Materials, General Research Institute for Nonferrous Metals, Beijing 100088, China について
Zhou Zhangyu について
Key Laboratory of Microelectronics Devices & Integrated Technology, Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, (IMECAS), Beijing 100029, China について
Fan Yanyan について
State Key Laboratory of Advanced Materials for Smart Sensing, General Research Institute for Nonferrous Metals, Beijing 100088, China について
State Key Laboratory of Advanced Materials for Smart Sensing, General Research Institute for Nonferrous Metals, Beijing 100088, China について
Microelectronic Engineering について
非対称性 について
RIE【エッチング】 について
ナノワイヤ について
同時性 について
対称性 について
フィン について
帯電 について
多重化 について
切欠き について
大量生産 について
ケイ素 について
エッチング について
スペーサ について
FinFET について
ハードマスク について
Si Scallped-Fin について
Siナノワイヤ(SINWS) について
非対称ハードマスク について
無秩序ノッチ について
電荷蓄積 について
時間分割多重化(TDM)エッチング について
トランジスタ について
固体デバイス製造技術一般 について