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J-GLOBAL ID：201802270940310399   整理番号：18A0695100

投影型イメージング質量分析用時間検知型半導体検出器の開発 IX

著者 (11件)： 藤田陽一 (高エ研) ,  新井康夫 (高エ研) ,  松岡久典 (大阪大 工) ,  本堂敏信 (大阪大 工) ,  間久直 (大阪大 工) ,  河井洋輔 (大阪大 理) ,  青木順 (大阪大 理) ,  豊田岐聡 (大阪大 理) ,  粟津邦男 (大阪大 工) ,  池辺将之 (北大) ,  SEOKJIN N. (北大)
資料名： 日本物理学会講演概要集(CD-ROM)  (日本物理学会春季大会講演概要集(CD-ROM))
巻： 73  号： 1  ページ： ROMBUNNO.22aK204-6  発行年： 2018年03月23日 
JST資料番号： S0671C  ISSN： 2189-079X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *投影法【図法】 ,  *画像 ,  *画像処理 ,  *質量分析 ,  *半導体検出器 ,  レーザ脱離質量分析 ,  *時間 ,  *同時分析 ,  *化学種 ,  半導体プロセス ,  *技術 ,  *微細加工 ,  弁別器 ,  応答 ,  *イメージング質量分析 ,  *飛行時間 ,  *同時検出 ,  *イオン種 ,  *微細加工技術 ,  TOF-MS
準シソーラス用語： *投影法画像 ,  *イメージング ,  飛行時間質量分析 ,  高速応答

分類 (3件)： 質量分析計  (BD02060M) ,  放射線検出・検出器  (AD08020J) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 投影 ,  イメージング質量分析 ,  半導体検出器 ,  開発