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文献
J-GLOBAL ID:201802281622505877   整理番号:18A0631987

放射光光電子分光法によるGaN上GaOx層の熱脱離過程の評価

著者 (8件):
資料名:
巻: 65th  ページ: ROMBUNNO.18p-C302-7  発行年: 2018年03月05日
JST資料番号: Y0054B  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
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分類 (1件):
分類
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