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J-GLOBAL ID：201802284882011488   整理番号：18A1591584

高密度二酸化炭素で電気めっきした金のミクロ機械的性質に及ぼす試料サイズ効果【JST・京大機械翻訳】

Sample size effect on micro-mechanical properties of gold electroplated with dense carbon dioxide

著者 (20件)： Tang Haochun (Institute of Innovative Research, Tokyo Institute of Technology, 4259 Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Tang Haochun (CREST, Japan Science and Technology Agency, 4259 Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Hashigata Ken (Institute of Innovative Research, Tokyo Institute of Technology, 4259 Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Hashigata Ken (CREST, Japan Science and Technology Agency, 4259 Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Chang Tso-Fu Mark (Institute of Innovative Research, Tokyo Institute of Technology, 4259 Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Chang Tso-Fu Mark (CREST, Japan Science and Technology Agency, 4259 Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Chen Chun-Yi (Institute of Innovative Research, Tokyo Institute of Technology, 4259 Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Chen Chun-Yi (CREST, Japan Science and Technology Agency, 4259 Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Nagoshi Takashi (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, 1-2-1 Namiki, Tsukuba, Ibaraki 305-8564, Japan) ,  Yamane Daisuke (Institute of Innovative Research, Tokyo Institute of Technology, 4259 Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Yamane Daisuke (CREST, Japan Science and Technology Agency, 4259 Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Konishi Toshifumi (Institute of Innovative Research, Tokyo Institute of Technology, 4259 Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Konishi Toshifumi (CREST, Japan Science and Technology Agency, 4259 Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Konishi Toshifumi (NTT Advanced Technology Corporation, 3-1 Morinosato Wakamiya, Atsugi-shi, Kanagawa 243-0124, Japan) ,  Machida Katsuyuki (Institute of Innovative Research, Tokyo Institute of Technology, 4259 Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Machida Katsuyuki (CREST, Japan Science and Technology Agency, 4259 Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Masu Kazuya (Institute of Innovative Research, Tokyo Institute of Technology, 4259 Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Masu Kazuya (CREST, Japan Science and Technology Agency, 4259 Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Sone Masato (Institute of Innovative Research, Tokyo Institute of Technology, 4259 Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Sone Masato (CREST, Japan Science and Technology Agency, 4259 Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 350  ページ： 1065-1070  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高密度二酸化炭素含有電解質(EP-DCE)で電気めっきした金のミクロ機械的性質を,MEMSデバイスにおける可動部品としての応用のためのマイクロピラー試験片を用いたマイクロ圧縮試験により調べた。マイクロ機械的性質に及ぼす粒径の影響も,従来の電気めっき(CONV-EP)により作製した金膜を用いて調べた。EP-DCEにより作製した金膜は,CONV-EPと比較して,より微細な平均粒径を示した。より微細な結晶粒サイズのため,EP-DCE膜から作製されたマイクロピラーは,CONV-EPから作製されたマイクロピラーのそれよりも高い強度を示した。マイクロピラーの寸法が20×40から10×20μm~3に減少すると,圧縮流れ応力の740から810MPaへの増加が観察され,これは試料サイズ効果の結果であった。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *二酸化炭素 ,  結晶粒径 ,  *機械的性質 ,  粒径 ,  MEMS ,  電解質 ,  *サイズ効果 ,  圧縮試験 ,  流れ応力 ,  *金 ,  *電気めっき
準シソーラス用語： 平均粒子径 ,  金膜 ,  マイクロピラー ,  *高密度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 電気めっき金 ,  高密度二酸化炭素 ,  マイクロ圧縮 ,  サイズ効果

分類 (1件)： 電気めっき  (WC08023B)

タイトルに関連する用語 (6件)： 酸化炭素 ,  電気めっき ,  金 ,  機械的性質 ,  試料 ,  サイズ効果