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J-GLOBAL ID：201802286215960589   整理番号：18A1700795

低密度発泡ターゲットを用いた水の窓軟X線の発光特性

著者 (13件)： 原広行 (宇大 工) ,  川崎太夢 (宇大 工) ,  田村賢紀 (宇大 工) ,  羽多野忠 (多元研) ,  江島丈雄 (多元研) ,  JIANG Weihua (長岡技科大) ,  大橋隼人 (富山大) ,  難波愼一 (広島大) ,  砂原淳 (パデュー大) ,  佐々木明 (量研機構) ,  錦野将元 (量研機構) ,  O’SULLIVAN Gerry (UCD) ,  東口武史 (宇大 工)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 79th  ページ： ROMBUNNO.21p-235-10  発行年： 2018年09月05日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 軟X線 ,  レーザプラズマ ,  多価イオン ,  *フォトリソグラフィー ,  周波数領域 ,  *X線顕微鏡 ,  ビスマス ,  自己吸収 ,  ポリウレタン ,  発泡プラスチック ,  *X線ルミネセンス
準シソーラス用語： *EUVリソグラフィー ,  水の窓 ,  発泡ウレタン ,  *X線発光

分類 (1件)： 有機化合物・錯体のX線スペクトル  (BM08102G)

タイトルに関連する用語 (6件)： 低密度 ,  発泡 ,  ターゲット ,  水の窓 ,  軟X線 ,  発光特性