文献

J-GLOBAL ID：201802287517247537   整理番号：18A1010989

高酸素圧でのパルスレーザ蒸着によるPb(Zr,Ti)O₃ナノロッドの自己集合成長に及ぼす蒸着条件の影響

Influence of deposition conditions on self-assembled growth of Pb(Zr,Ti)O₃ nanorods by pulsed laser deposition at elevated oxygen pressure

著者 (7件)： OKAMOTO Kazuki (Department of Energy Engineering, Nagoya University) ,  YAMADA Tomoaki (Department of Energy Engineering, Nagoya University) ,  YAMADA Tomoaki (PRESTO, Japan Science and Technology Agency) ,  YASUMOTO Jun (Department of Energy Engineering, Nagoya University) ,  NAKAMURA Kentaro (Department of Energy Engineering, Nagoya University) ,  YOSHINO Masahito (Department of Energy Engineering, Nagoya University) ,  NAGASAKI Takanori (Department of Energy Engineering, Nagoya University)
資料名： Journal of the Ceramic Society of Japan (Web)  (Journal of the Ceramic Society of Japan (Web))
巻： 126  号： 5  ページ： 276-280(J-STAGE)  発行年： 2018年 
JST資料番号： U0409A  ISSN： 1348-6535  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高酸素圧でのパルスレーザ蒸着(PLD)により自己集合Pb(Zr,Ti)O₃(PZT)ナノロッドを成長した。PZTは初期成長段階では膜として成長し,さらなる蒸着でナノロッドを形成した。基板温度,ターゲット-基板距離,およびターゲットのPb組成がナノロッド成長に及ぼす影響を調べた。基板温度が高く,ターゲット-基板距離が長いほどPZTナノロッドの平均半径は大きくなったが,これはPLD種の増強された表面拡散とシャドウイング効果によりそれぞれ説明できることが分かった。本研究の結果は,PZTナノロッドのサイズを制御して圧電応答を調整するのに寄与できる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *薄膜成長 ,  *誘電体薄膜 ,  強誘電体 ,  *ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  ナノロッド ,  パルスレーザ蒸着 ,  基板温度 ,  距離 ,  分圧 ,  自己集合 ,  *微細構造 ,  結晶構造 ,  表面拡散 ,  影効果 ,  応答
準シソーラス用語： PZT【鉛化合物】 ,  組成依存性 ,  距離依存性 ,  酸素分圧 ,  微細組織 ,  サイズ分布 ,  シャドーイング ,  圧電応答

著者キーワード (5件)： PZT ,  ナノロッド ,  自己集合成長 ,  圧電 ,  強誘電性

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (21件)：

• 1) P. Muralt, J. Micromech. Microeng., 10, 136–146 (2000).
• 2) S. Trolier-McKinstry and P. Muralt, J. Electroceram., 12, 7–17 (2004).
• 3) N. Setter, D. Damjanovic, L. Eng, G. Fox, S. Gevorgian, S. Hong, A. Kingon, H. Kohlstedt, N. Y. Park, G. B. Stephenson, I. Stolitchnov, A. K. Taganstev, D. V. Taylar, T. Yamada and S. Streiffer, J. Appl. Phys., 100, 051606 (2006).
• 4) C.-B. Eom and S. Trolier-McKinstry, MRS Bull., 37, 1007–1017 (2012).
• 5) H. Funakubo, M. Dekkers, A. Sambri, S. Gariglio, I. Shklyarevskiy and G. Rijnders, MRS Bull., 37, 1030–1038 (2012).

タイトルに関連する用語 (10件)： 酸素圧 ,  パルスレーザ蒸着 ,  Pb ,  Zr ,  Ti ,  O3 ,  ナノロッド ,  自己集合 ,  成長 ,  蒸着