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J-GLOBAL ID：201802290786951003   整理番号：18A0454523

高解像度クリノメータの利用による高精度リニアステージの角度誤差動作の測定

1505 Measurement of angular error motions of a precision linear stage by using a high resolution clinometer

著者 (5件)： KATAOKA Satoshi (Department of Nanomechanics, Tohoku University) ,  ISHIKAWA Tatsuya (Department of Nanomechanics, Tohoku University) ,  SHIMIZU Yuki (Department of Nanomechanics, Tohoku University) ,  ITO So (Department of Nanomechanics, Tohoku University) ,  GAO Wei (Department of Nanomechanics, Tohoku University)
資料名： Proceedings of International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (Web)  (Proceedings of International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (Web))
巻： 2015.8  ページ： _1505-1_-_1505-4_(J-STAGE)  発行年： 2015年 
JST資料番号： U1247A  ISSN： 2424-3086  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

著者キーワード (5件)： Clinometer ,  Inclination measurement ,  Fluid ,  Capacitive ,  Compensation method

タイトルに関連する用語 (4件)： 高解像度 ,  クリノメータ ,  リニアステージ ,  誤差