特許
J-GLOBAL ID：201803000132394836

防着板支持部材、プラズマ源およびイオンビーム照射装置

発明者：
井内 裕

井内 裕 について

, 
谷井 正博

谷井 正博 について


出願人/特許権者：
日新イオン機器株式会社

日新イオン機器株式会社 について


公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-197960
公開番号（公開出願番号）：特開2015-065010
特許番号：特許第6307825号
出願日： 2013年09月25日
公開日（公表日）： 2015年04月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 プラズマ処理装置やイオンビーム照射装置で用いられるプラズマ生成容器内に配置される防着板支持部材であって、 プラズマ生成容器の一つの内壁面のみに配置される第一の部材と、 前記第一の部材に対して着脱可能な部材であって、前記第一部材に取り付けて前記内壁面に略垂直な方向から視た時に、前記内壁面に沿った方向で少なくとも前記第一の部材の周縁から突出した突出部を有する第二の部材とを備えていて、 前記内壁面に略垂直な方向において、前記突出部が前記内壁面と離間していて、前記内壁面に略垂直な方向から視た時に前記第二の部材が前記第一の部材を覆っている防着板支持部材。
IPC (6件)：
H01J 37/08 ( 200 6.01) ,  H01J 27/08 ( 200 6.01) ,  H01J 27/16 ( 200 6.01) ,  H05H 1/46 ( 200 6.01) ,  C23C 16/44 ( 200 6.01) ,  H01L 21/31 ( 200 6.01)
FI (6件)：
H01J 37/08 ,  H01J 27/08 ,  H01J 27/16 ,  H05H 1/46 A ,  C23C 16/44 J ,  H01L 21/31 C
引用特許：
審査官引用 (4件)
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