窒化処理装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：特許業務法人前田特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-087536
公開番号（公開出願番号）：特開2018-184644
出願日： 2017年04月26日
公開日（公表日）： 2018年11月22日
要約：

【課題】大気圧プラズマにより安定した窒化処理をすることができるようにする。【解決手段】窒化処理装置は、大気圧プラズマを発生させるプラズマジェット発生部101と、プラズマジェット発生部101の先端部に取り付けられた局所密閉カバーとを備え、局所密閉カバーは、被処理物又は前記被処理物を裁置した板体と共に、内部を減圧することが可能な密閉空間を形成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

大気圧プラズマを発生させるプラズマジェット発生部と、前記プラズマジェット発生部の先端部に取り付けられた局所密閉カバーとを備え、前記局所密閉カバーは、被処理物又は前記被処理物を裁置した板体と共に、内部を減圧可能な密閉空間を形成する、窒化処理装置。

IPC (2件)：

C23C 8/24 , C23C 8/02

FI (2件)：

C23C8/24 , C23C8/02

Fターム (3件)：

4K028AA02 , 4K028AC03 , 4K028BA02

引用特許：

審査官引用 (10件)

低合金鋼の硬化処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2013-147117 出願人：国立大学法人大分大学
プラズマ処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-267248 出願人：セイコーエプソン株式会社
特開昭60-211061

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